판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Trias SPA #9220304

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ID: 9220304
웨이퍼 크기: 8"-12"
빈티지: 2005
Plasma nitridation deposition system, 8"-12" Load port Single chamber system 2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Trias SPA는 반도체 제조를 위해 특별히 설계된 에쳐/어셈블러입니다. 자동화된 인라인 (in-line) 에칭/조립 프로세스를 통해 반도체 칩을 효율적이고 경제적으로 생산할 수 있습니다. 에칭/조립 과정은 TEL Trias SPA 욕조에 액체 전구체를 주입함으로써 시작됩니다. 액체 전구체는 반도체 웨이퍼의 노출 된 면적과 반응하여 에치 패턴 (etch pattern) 과 기하학을 생성합니다. 이러한 에치 형상은 반도체 웨이퍼에 원하는 전자 부품을 구성하는 데 사용됩니다. 또한, TOKYO ELECTRON Trias SPA (Tokyo ELECTRON Trias SPA) 에는 자동 컴퓨터 비전 기능이 장착되어 있으며, 이를 통해 장비는 공정의 정확성과 반복 성을 높이기 위해 대상 에칭/어셈블 포인트를 식별하고 찾을 수 있습니다. 이 시스템은 또한 온보드 CCD (Integrated CCD) 카메라를 갖추고 있으며, 공정이 완료된 후 에치 패턴을 고해상도 검사할 수 있습니다. 이렇게 하면, 이 장치는 생산된 컴포넌트의 잠재적 결함 (potential fault) 이나 결함 (defect) 을 감지하여 제조된 칩의 최고 품질 표준을 보장할 수 있습니다. 뿐 만 아니라, 기계 는 고급 증착 기술 을 갖추고 있어서 금속, 단열재, 기타 물질 을 "웨이퍼 '표면 에 증착 시킬 수 있다. 이 단계는 프로세스 정확도와 효율성을 더욱 높여 높은 수율 (yield rate) 칩을 가능하게 합니다. 또한, Trias SPA 기계는 안전하고 신뢰할 수있는 작동을 제공하도록 설계되어 필요한 인간 노동 및 오류 위험을 최소화합니다. 또한 기존 반도체 생산 라인에 쉽게 유지되고 통합됩니다. 결론적으로 TEL/TOKYO ELECTRON Trias SPA (TEL/TOKYO ELECTRON Trias SPA) 는 반도체 웨이퍼를 에칭 및 조립하기위한 신뢰성이 높고 효율적인 도구로서 비용 효율적인 고급 및 복잡한 칩 설계를 생산할 수 있습니다.
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