판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Trias MU SPA #9267460

TEL/TOKYO ELECTRON Trias MU SPA는 반도체 및 MEMS 처리를 위해 설계된 고급 에처/애셔입니다. 500MHz RF 전력, TOF-SIMS (Time-of-flight secondary ion mass spectrometry) 및 LEBD (low energy beam deposition) 와 같은 최첨단 기술을 사용하여 정확한 에칭 결과를 제공합니다. 이 기계는 6 인치의 표준 웨이퍼 사이즈 (wafersize) 를 특징으로하며, 회로 보드, MEMS 장치, 센서 및 기타 마이크로 일렉트로닉 구성 요소를 포함한 다양한 응용 프로그램에 대한 고정밀 패턴을 제공합니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 에는 유전층 증착실과 현장 내 광학 정렬 장비가 장착되어 있습니다. TEL Trias MU SPA는 다중 패스 에칭 프로세스를 사용하여 반응성 이온의 조합을 사용하여 정확한 결과를 보장하며, 프로세스 중에 미리 정의 된 이산화규소 및 질화 실리콘의 얇은 층을 증착합니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 또한 멀티 챔버 시스템 (multi-chamber system) 을 갖추고 있으며, 각 에칭 단계마다 다른 가스를 사용하여 에칭 공정의 결과를 개선 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Trias MU SPA는 또한 고급 이온 소스 제어 시스템, 진공 연동 장치 (vacuum interlock unit) 및 우발적 인 드라이브 손상을 모니터링하고 방지하는 종합적인 하드웨어 보호 머신과 같은 최첨단 안전 기능을 갖추고 있습니다. 즉, 결과의 품질을 저하시키지 않고 안전하고 효율적인 운영을 보장합니다. Trias MU SPA는 고도의 정밀 에칭 및 증착 공정 (etching and deposition process) 과 우수한 안전 기능을 제공하기 때문에 마이크로 전자 응용 프로그램에 잘 사용됩니다. 광범위한 반도체 및 MEMS 관련 프로젝트에 이상적인 선택입니다.