판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Trias MPD CE T2 #9132453

ID: 9132453
Single wafer plasma treatment system.
TEL/TOKYO ELECTRON Trias MPD CE T2는 반도체 산업에서 수행되는 CMP 프로세스를 위해 특별히 설계된 고급형 etcher/asher 장비입니다. 이 최첨단 머신은 업계 최고의 플라즈마 에치 (etch) 및 증착 기능을 제공합니다. TEL Trias MPD CE T2는 최고 정도의 정밀도와 품질을 제공하는 통합 대기 압력 플라즈마 소스를 사용합니다. 이 Plasma 소스는 낮은 수준의 RF 전력으로 고온 플라즈마를 만들 수 있으며, 매우 효율적이고 균일 한 에칭 및 증착 프로세스를 지원합니다. 이 기능은 단일 (single) 및 다중 (multi) 메탈 (etch) 프로세스 모두에 매우 적합하므로 전반적인 생산성과 결과의 일관성을 향상시킵니다. 또한 TOKYO ELECTRON Trias MPD CE T2에는 엔지니어와 엔지니어가 실시간으로 매개 변수를 조정하여 효율성 및 품질을 극대화할 수 있도록 하는 실시간 데이터 피드백을 갖춘 고급 모니터링 시스템 (Advanced Monitoring System) 이 장착되어 있습니다. 모니터링 장치 (Monitor Unit) 를 사용자의 특정 요구 사항에 맞게 사용자 정의하여 신속한 프로세스 최적화 및 안정적인 성능을 보장할 수 있습니다. Trias MPD CE T2는 또한 안전 장치 (Safety Machine) 를 내장하여 잠재적 인 사고 및 오작동에 대한 보호를 제공합니다. 이 도구는 가스 경보, 과압 방출 밸브, 비활성 가스 압력 조절 등 다양한 안전 기능을 제공합니다. 이 안전 자산 (Safety Asset) 은 모든 시스템 사용자에게 안전하고 안전한 환경을 보장합니다. 결론적으로 TEL/TOKYO ELECTRON Trias MPD CE T2는 반도체 산업의 CMP 프로세스를 위해 특별히 설계된 고급 에처/애셔 모델로, 우수한 플라즈마 에치 및 증착 기능을 제공합니다. 통합 대기 압력 플라즈마 소스, 고급 모니터링 장비 및 내장 안전 시스템은 TEL Trias MPD CE T2를 효율적이고, 균일하며, 안전한 결과를 얻을 수있는 이상적인 솔루션으로 만듭니다.
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