판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Trias ALD #9294449

TEL/TOKYO ELECTRON Trias ALD (Atomic Layer Deposition) 는 표면에 걸쳐 정확한 두께와 적용 범위를 가진 얇은 필름을 만드는 데 사용되는 에처 및 애셔입니다. 그것 은 단지 한 원자 층 에서 수백 "나노미터 '까지의 두께 의 얇은" 필름' 을 증착 시키도록 설계 되어 있으며, 이것 은 분자 수준 의 정확 한 박막 증착 을 가능 케 한다. TEL Trias는 다양한 증착 작업을 처리 할 수 있습니다. 온도, 속도, 방향, 시간 등의 제어 수준을 통해 높은 수준의 정밀도와 정확도를 제공합니다. TEL Trias ALD에는 여러 컨트롤러가 장착되어 있어 정확하고 일관성 있는 작동이 가능합니다. 로드 록 (loadlock) 기능을 사용하면 장비에 오염 물질을 도입하지 않고 웨이퍼를 로드 및 언로드할 수 있습니다. 또한 다중 축 동작 컨트롤러 (Multi-Axis Motion Controller) 를 사용하여 웨이퍼의 반복 가능한 동작과 정확한 위치를 보장합니다. 또한 트리아스 (Trias) 에는 강력한 배기 및 스크러빙 시스템 (scrubbing system) 이 포함되어 있어 증착 과정에서 더 높은 수준의 순도를 달성할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Trias에는 가스 흐름, 온도 및 압력의 정확한 제어를 위해 고급 ALD 가스 패널이 장착되어 있습니다. 이 장치에는 증착 중 웨이퍼의 온도를 모니터링하고 자동으로 조정하는 온도 컨트롤러 (temperate controller) 가 포함되어 있어 균일성 (unifority) 과 품질 (quality) 을 보장합니다. TOKYO ELECTRON Trias ALD (TOKYO ELECTRON Trias ALD) 는 닫힌 캐비닛 및 키 잠금 (key lock) 과 같은 안전 기능으로도 설계되어 무단 액세스를 보장합니다. 또한 비상 차단 (Emergency Shutoff) 스위치와 기계 고장의 경우 자동 차단을 제공합니다. 전반적으로, TEL/TOKYO ELECTRON Trias는 미세한 수준에서 정밀 박막 증착을 보장하기 위해 다양한 기능과 기능을 갖춘 고급 에처/애셔 (etcher/asher) 입니다. 정확하고 반복 가능한 증착 프로세스를 위해 설계되었으며, 높은 수준의 순도 (purity) 와 균일성 (unifority) 을 제공합니다. 이 도구 는 반도체, "플라스틱 '포장, 의료 산업 의 고급 박막 재료 를 증착 하는 데 이상적 이다.