판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Tellius JIN #9399575

TEL / TOKYO ELECTRON Tellius JIN
ID: 9399575
빈티지: 2011
Dry etchers 2011 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TELLIUS JIN은 반도체 마이크로 가공에 사용되는 에처/애셔입니다. 초소형 장치 개발과 대형 평면 패널 디스플레이의 고속, 고정밀 (High-Precision) 패턴화를 가능하게 하는 고정밀 (High Precision) XY 모터 드라이브 장비가 장착되어 있습니다. TEL 텔리우스 진 (TEL Tellius JIN) 은 열 드리프트 및 반복 가능한 행렬의 악화 효과를 최소화하여 기본 마스킹 도구와 시간 크리티컬 프로세스의 높은 위치 정확성과 반복 가능한 패턴을 가능하게합니다. TOKYO ELECTRON Tellius JIN은 복잡한 생산 시스템의 중첩 처리를 줄이기 위해 빠른 원격 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 또한 수명이 긴 프로세스 모듈, 고급 작업 제어 소프트웨어, 빠른 처리 속도 (Rapid Processing Speed), 기타 여러 기능 등 다양한 옵션을 제공합니다. Tellius JIN은 효율적인 운영을 위해 설계되었으며, 에칭/애셔를 위한 고성능, 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. TEL/TOKYO ELECTRON Tellius JIN은 또한 내장 된 멀티 스텝 패턴화 프로세스를 가지고 있으며, 이를 통해 고급 로봇 지그 (robotics jig) 및 패턴 인식 장치를 사용하여 복잡한 패턴 및 전체 프로세스 제어를 생산할 수 있습니다. TEL Tellius JIN은 또한 선형 및 회전 동작, 서보 제어 동작 제어, 고속 미세 이동 등 다양한 동작 제어 옵션을 제공합니다. TOKYO ELECTRON Tellius JIN은 고급 장애 감지 및 복구 루틴으로 안정성이 뛰어납니다. 최첨단 Inert Device Protection은 낮은 결함 속도를 보장하며, 사후 검사 시간을 단축하는 데 도움이 됩니다. 이 기계는 또한 열악한 프로세스 환경에서도 온도 조절, 온도 변화 보호, 프로세스 안정성 향상 등을 통합합니다. Tellius JIN은 photoresist 처리, 에칭, 형성, 도금, 수동화 및 산화를 포함한 다양한 에칭 및 에칭 관련 프로세스에 이상적입니다. 안정적 인 에칭 (etching) 과 안정적인 마스킹 도구 전송 (transfer of masking tools) 기능을 통해 가장 까다로운 어플리케이션에 적합합니다. TEL/TOKYO ELECTRON TELLIUS JIN은 또한 빠른 시제품 제작 및 고속 장치 제작을 위한 훌륭한 선택으로, 높은 처리량, 낮은 다운타임, 높은 정밀도를 제공합니다.
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