판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Telius #9017825

ID: 9017825
웨이퍼 크기: 12"
Etcher, 12" Includes: Make / Model / Description TEL / TOKYO ELECTRON / Telius DT / Mainframe TEL / TOKYO ELECTRON / Telius AC Rack / AC Rack 1 TEL / TOKYO ELECTRON / Telius AC Rack / AC Rack 2 KOMATSU / FRV-6000-6 / Chiller A low KOMATSU / FRV-6000-6 / Chiller B low KOMATSU / FRV-6000-6 / Chiller C low KOMATSU / FRV-6000-6 / Chiller D low KOMATSU / FRV-6000-6 / Chiller A controller KOMATSU / FRV-6000-6 / Chiller B controller KOMATSU / FRV-6000-6 / Chiller C controller KOMATSU / FRV-6000-6 / Chiller D controller TEL / TOKYO ELECTRON / SCCM DT / Process ship A TEL / TOKYO ELECTRON / SCCM DT / Process ship B TEL / TOKYO ELECTRON / SCCM DT / Process ship C TEL / TOKYO ELECTRON / SCCM DT / Process ship D Mainframe: Loader module (5) Loader port units Process ship (PM + LLM + GB): 4 (4) Process modules (4) Gas boxes (5) Water leak detectors (LM:1, each PS) Controller Turbo Molecular Pump (TMP) Chiller: Re-circulating coolant to maintain temperature Support equipment: (2) Power racks (8) RF Generators (2) AC Power supplies (4) TMP Controllers (4) I/O Boxes (4) Water leak detectors (4) Chillers Does not include: (4) PM Dry pumps (4) LLM Dry pumps.
TEL TEL/TOKYO ELECTRON Telius etcher는 오늘날 가장 고급 에칭 시스템 중 하나입니다. 자동화된, 플라즈마 강화, 다단계 에칭 장비로, 에칭 프로세스의 모든 단계를 정확하게 제어합니다. TEL Telius etcher는 화학적 에칭, 포토 에칭 및 플라즈마 에칭 기술의 독특하고 독점적 인 조합을 사용하여 정확하고 반복 가능한 마무리를 수행합니다. 따라서 etch 깊이, 프로파일 및 효율성을 정확하게 제어할 수 있습니다. 또한, etcher 는 특정 요구 사항에 맞게 다양한 사용자 정의 프로세스 매개 변수 설정을 제공합니다. 에처 (etcher) 도 확장 가능하여 추가 도구와 액세서리를 시스템에 통합 할 수 있습니다. 이러한 확장 가능한 기능을 통해 기존 PCB에서 블라인드 및 매장 된 비아 (Vias), HDI 레이어 (HDI Layers) 및 쌓인 마이크로 비아 (Micro-Vias) 와 같은 더 복잡한 형태에 이르기까지 다양한 재료를 가져올 수 있습니다. 이 에처는 또한 다양한 기능 (예: 프로그래밍 가능한 레시피 라이브러리, 프로세스를 모니터링하고 완성된 제품을 검사하는 모니터링 장치) 을 제공합니다. 또 다른 중요 한 특징 은 기계 가 "오퍼레이터 '친화적 이 되도록 설계 되어 있으며, 운영 과 유지 보수 를 쉽고 단순 하게 하는 것 이다. 이 도구에는 고급 온도 제어 및 안전 기능도 있습니다. 위험한 상황과 사고를 예방하는 안전 연동으로 보호됩니다. 또한, 완성 된 제품 을 검사 하는 데 사용 할 수 있는 통합 "카메라 '자산 을 제공 하여" 에치' 처리 과정 이 가장 질 이 좋다. 이 모델은 또한 환경 친화적으로 설계되었습니다. 철저한 배기가스 (exhaust) 장비와 무하류 (zero-downflow) 설계를 통해 환경 배출량을 최소화할 수 있습니다. 또한 공기 재활용 시스템 (air recycling system) 을 통해 에너지 소비를 줄이고 운영 비용을 절감할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON TOKYO ELECTRON Telius 에처 (Etcher) 는 기존의 PCB에서 복잡한 형태에 이르기까지 다양한 재료를 에칭하는 데 사용될 수 있으며, 신뢰할 수 있고 반복 가능한 에칭 프로세스를 추구하는 제조업체에 이상적인 선택입니다. 이러한 기능과 확장성을 통해 강력한 도구를 통해 효율성을 극대화하고, 완성된 제품을 최적화할 수 있습니다 (영문).
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