판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Telius TSP-30555SSS #9231837
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ID: 9231837
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2004
Dry etchers, 12"
Process: SHIN
Processing type: Vacuum
Wafer type: Notch
VAT 65051-JH52-AUD1 APC, 14"
Process gases:
Gas 1: CO (100 SCCM)
Gas 2: COS (15 SCCM)
Gas 3: C4F6 (30 SCCM)
Gas 4: C4F8 (30 SCCM)
Gas 5: CH2F2 (30 SCCM)
Gas 6: N2 (150 SCCM)
Gas 7: CO (150 SCCM)
Gas 8: AR (2000 SCCM)
Gas 9: CHF3 (60 SCCM)
Gas 10: CF4 (30 SCCM)
Gas 11: O2 (30 SCCM)
Gas 12: O2 (2000 SCCM)
Gas 13: CO (150 SCCM)
Gas 14: CO (150 SCCM)
Gas 16: O2 (10 SCCM)
Gauge:
Unit / Make / Model / Range
Baratron (CM 1) / MKS / 627BRETDD2P / 33.33 PA
Baratron (CM 2) / MKS / 627B11TDC2P / 1.333 PA
Baratron (CM 2) / MKS / 626A01TDE / 133.32 PA
Baratron (CM 2) / MKS / 51A11TGA2BA003 / 1.333 PA
BA Gauge / INFICON / BPG400 / -
SHIMADZU EI-4203 LMC-T1 Turbo Molecular Pump (TMP)
SHIMADZU EI-4203MZ Turbo Molecular Pump (TMP) Controller
SCINCO SELME12ZS-BP3 Robot
HV Controller
DAINEN AGA-50B2 Generator
WGA-50E Generator
HPK10Z1-TE2 DC HV Generator
DAINEN AMN-50E3 Matcher
DAINEN WMN-50C4 Matcher
Sub module:
AC Rack
DC Rack
Carrier stage: (4) Load ports
Process module: (4) Power supplies
Gas box: (3) Power supplies
Data back up: FD
Gas line injection: 16 Line
Gate: V-TAC
Missing parts:
End point detection
Chamber PC and bottom and gas and electronic B/D
SE2000 EPD Sensor
AC Rack main
Chamber 15 gas lines MFC
2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Telius TSP-30555SSS etcher/asher는 고급 연구 및 생산을 위해 설계된 고정밀 박막 증착 및 제거 장비입니다. 이 에처/애셔 (etcher/asher) 는 고급 제어 소프트웨어와 결합된 통합 수직 진공 기술을 사용하여 높은 정확도와 처리량을 가진 증착 및 제거 능력을 모두 제공합니다. TSP-30555SSS 는 직관적인 터치스크린 컨트롤러와 컬러 모니터 (Color Monitor) 를 갖추고 있어 사용이 간편한 인터페이스를 제공하여 운영 및 유지 보수가 편리합니다. 이 시스템에는 단일 웨이퍼 프로세스 기능이 있으며 웨이퍼를 정확하게 조작하기 위해 조정 가능한 2 개의 프로브 (Probe) 가 제공됩니다. 이 에처/애셔는 자동으로 조정 가능한 포지셔닝으로 2 "최대 8" 범위의 샘플 크기를 수용 할 수 있습니다. 산소, 질소, 사플루오린화 탄소를 포함한 다양한 증착 및 에치 가스를 제공합니다. 이 장치의 중심에는 높은 생산성을 위해 고주파 RF 소스로 구동되는 강력한 DC 마그네트론 스퍼터링 (sputtering) 이 있습니다. 이 에처/애셔는 또한 웨이퍼의 전체 PID 온도 제어를 특징으로합니다. 달성 가능한 온도 범위는 섭씨 80 ° 에서 섭씨 450 ° 입니다. 또한 TSP-30555SSS는 반도체와 금속 필름을 모두 처리 할 수 있습니다. 이 기계 에는 그러한 용도 에 사용 할 수 있는 "펠렛 '과" 메쉬' 재료 가 매우 다양 하다. 또한 동시 금속 이온 에칭 및 시딩 기능이 있습니다. TSP-30555SSS는 사용자 친화적이고 안정적이며 비용 효율적인 etcher/asher입니다. 고도의 정밀도, 탁월한 프로세스 제어, 다양한 사용 가능한 소재로, 고급 연구/생산에 적합한 선택입니다.
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