판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Telius TSP-30555SS (JIOX) #293646437

TEL Telius TSP-30555SS (JIOX) 는 반도체 제조에서 웨이퍼 응용 프로그램을 위해 설계된 에처/애셔입니다. 이 장치는 RIE (reactive ion etching), etch-back, 이온 밀링, 이온 etching 및 DRIE (deep reactive ion etching) 와 같은 모든 범위의 에칭 작업을 허용하는 대규모 공정 챔버를 특징으로합니다. 이 약실 은 또한 조정 가능 한 "가스 '흐름 과 자동" 가스' "스위치 '를 가지고 있어서, 여러 가지 식각 공정 을 이용 할 수 있는 유연성 을 가지고 있다. TSP-30555SS에는 강력한 3 축 전동 스테이지가 장착되어 있어 웨이퍼 로딩 및 웨이퍼 포지셔닝이 정확합니다. 이 장치에는 파편 생성을 최소화하는 에어나이프 (air knife) 옵션, 에칭 과정에서 빠른 반응 및 온도 조절을 유지하는 게이트 밸브 (gate valve) 및 챔버 압력을 낮게 유지하는 데 도움이되는 터보 펌프 (turbo pump) 가 있습니다. 고급 로드 잠금을 통해 빠른 웨이퍼 재장전 및 유지 보수가 간편합니다. 안전 측면에서 TOKYO ELECTRON Telius TSP-30555SS에는 운영자 안전을 향상시키는 몇 가지 내장 기능이 있습니다. 자동화된 보안 도어 (Security Door) 와 웨이퍼 식별 시스템 (Wafer Identifying System) 과 비상 시스템 (Emergency System) 이 함께 제공되어 비상 사태가 발생할 경우 에처를 빠르게 종료 할 수 있습니다. 이 장치에는 연동 시스템, 드라이 필름 보호 (dry-film protection) 및 이오나이저 (ionizer) 와 같은 여러 안전 장치가 있으며, 이는 에칭 챔버의 오염 및 손상 가능성을 줄이는 데 도움이됩니다. TEL/TOKYO ELECTRON Telius TSP-30555SS는 운영 및 데이터 관리를 용이하게 하는 GUI (그래픽 사용자 인터페이스), 사용자 친화적 모니터링 및 교정 도구, 내장 장치 관리자 등의 사용자 편의성 기능도 제공합니다. 또한 외부 신호 입력 (signal input) 과 출력 (output) 용 인터페이스가 있어 매개변수와 프로세스를 제어할 때 유연성이 향상됩니다. 또한 이 장치에는 이더넷 (Ethernet) 및 RS232 (RS232) 연결이 장착되어 있어 네트워크 시스템과 원격 모니터링 및 제어를 연결할 수 있습니다. 전반적으로 TEL Telius TSP-30555SS는 다양한 기능과 유연성을 갖춘 강력한 etcher/asher입니다. 챔버 (Chamber) 는 다양한 에칭 프로세스와 안전 기능, 사용자 친화적 인 설계, 외부 인터페이스 (External Interface) 를 통해 효율적이고 효과적으로 작업할 수 있습니다.