판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9402146
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TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP는 반도체 장치 제조 산업의 유전체 에칭 및 웨이퍼 청소에 사용되는 고급 etcher/asher 시스템입니다. 완벽하게 자동화된 고성능 시스템으로, 탁월한 정확성, 반복성, 처리량을 제공합니다. TEL Telius SP에는 9kW RF 전원 공급 장치와 최적의 etch/clean 프로세스 제어를 위한 RF 일치 네트워크가 장착되어 있습니다. 이 기계에는 대기 압력 플라즈마 소스 (plasma source) 가 장착되어 있어 높은 속도와 균일 한 처리가 가능합니다. TOKYO ELECTRON Telius SP는 웨이퍼의 유전층의 상단 또는 하단 에칭 또는 기판 및 마스크의 개구부 에칭을 위해 설계되었습니다. 에칭 기능은 매우 정확하고 반복 가능한 프로세스로 뒷받침됩니다. 이를 통해 시간과 비용을 절약하면서 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 또한, 시스템은 엔드 포인트 검출기와 섀도우 마스크 정렬기를 모두 가지며, 양수 (positive) 및 음수 (negative) 에치 프로세스에 모두 사용할 수 있습니다. 또한 Telius SP에는 고정밀 웨이퍼 클리닝 구성 요소가 포함되어 있어 웨이퍼에서 오염 물질을 제거 할 수 있습니다. 이 기계는 독특한 고밀도 플라즈마, 프로세스 시간 최적화, 가속 웨이퍼 동작 기술을 사용하여 웨이퍼 표면의 이물질을 제거합니다. 이 sytem은 또한 통합 입자 모니터링을 특징으로하며, 최대 언로드 된 입자 속도 < 5 particles/cm2/min으로 비교할 수없는 청소 성능을 제공합니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP는 반도체 장치 제조를 위해 안정적이고 효율적인 에칭/클리닝 도구를 제공합니다. 자동화된 프로세스 제어, 섀도 마스크 정렬 장치, 고밀도 플라즈마 클리닝 (Plasma Cleaning) 과 같은 고급 기능을 통해 뛰어난 반복성과 처리량을 얻을 수 있습니다.
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