판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9197608

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP는 최첨단 기술을 갖춘 에처/애셔로 고품질의 결과를 제공합니다. 이 도구는 매우 작은 선 너비, 높은 종횡비 지형, 정확한 프로파일 제어를 통해 전자 회로를 생산할 수 있도록 설계되었습니다. 이 기기의 처리 챔버는 500 x 500 x 80 mm (19.7 x 19.7 x 3.1 인치) 이며 295 mm 직경 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 공정 압력 유지에 사용되는 수직 정렬, 이중 단계, 다이어프램 펌프가 장착되어 있습니다. 또한 O2, BCl3, C4F8과 같은 8 개의 가스를 독립적으로 제어 할 수있는 총 가스 전달 장비가 있습니다. 레지스트 스트리핑, 딥 트렌치 에칭, 캐비티 에칭, 프로파일링, 패턴 전송 등 다양한 에치 요구 사항에 대한 여러 가지 구성을 제공합니다. 이 시스템은 또한 매우 정밀한 디지털 스캔 생성기 (digital scan generator) 를 사용하여 웨이퍼를 고속 스캔할 수 있습니다. 또한, 정밀 기계 단계와 함께 사용되는 기울기 보상 기술 (tilt compensation technology) 은 전체 웨이퍼 표면에서 균일성을 보장합니다. 게다가, 표면 매핑 장치를 사용하면 중심에서 웨이퍼 (wafer) 의 가장자리까지 균일성 최적화가 가능합니다. 고급 프로세스 모니터링을 통해 최상의 품질의 성능을 보장할 수 있습니다. 성능을 극대화하기 위해 TEL Telius SP 는 사용자 정의 인터페이스와 함께 제공되므로 작업을 쉽게 수행할 수 있습니다. 디지털 프로세스 제어 (Digital Process Control) 는 실시간 프로세스 모니터링 및 제어를 통해 신뢰할 수 있는 프로세스를 쉽게 설정하고 유지할 수 있습니다. 마지막으로, 자동 레시피 실행 기계는 최대의 프로세스 정확성과 반복 성을 제공합니다. TOKYO ELECTRON Telius SP는 매우 훌륭한 패턴으로 표면을 에칭/재싱하는 데 이상적인 도구입니다. 고급 기능과 옵션으로 더욱 정교하고, 견고한 성능과, 프로세스 유연성을 제공하므로, 가장 까다로운 어플리케이션에 적합합니다.