판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9197605

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP는 실리콘 웨이퍼 처리에 사용되는 고급 에처/애셔입니다. 반도체 장치 제작용으로 특별히 설계되었으며, MEMS, MOEMS, Micro-scale Feature Patterning 등의 응용 프로그램을 에칭 및 애싱 할 수 있습니다. 이 장비는 다중 챔버 HDX 장치, 로드 잠금 포트, 와플 포드, 주요 메인프레임 컨트롤러 장치, 여러 주변 장치 등의 구성 요소로 구성됩니다. HDX 장치는 한 번에 한 웨이퍼에 에칭 및 애싱 할 수 있습니다. 로드 잠금 포트 (Load Lock Port) 는 최대 16 개의 웨이퍼를 저장할 수 있으며 150mm 전송 로봇 암을 사용하여 포트에서 포드로 웨이퍼를 옮길 수 있습니다. 와플 포드는 각각 최대 60 개의 웨이퍼를 저장할 수 있으며 정확하고 제어 된 에칭/애싱 작업을 제공하는 데 도움이됩니다. 메인프레임 컨트롤러 장치는 시스템 운영 관리 (레시피 처리 매개변수, 장비 제어, 데이터 관리 등) 를 담당합니다. 이 장치는 LCD 디스플레이, 터치 패널 작동 장치, 가스 공급 장치 (gas-supply control unit) 등 주변 장치와도 통신합니다. TEL Telius SP에는 배치 웨이퍼 처리, RFID 데이터 추적, 자동 셔틀 등의 고급 기능이 장착되어 있습니다. 이더넷 연결을 통해 원격으로 작동 할 수도 있습니다. 또한, 환경적 영향이 낮아 설치 공간을 줄이려는 고객에게 매력적입니다. 작동 측면에서, 이 장치는 15.4 분의 생산 주기 시간으로 정확하고 반복 가능한 결과를 제공합니다. 진공 보조 AGC 플라즈마 소스 기술은 고품질의 최적화 된 에칭/애싱 결과를 제공합니다. 전극력 Tuning-TEC (Tuning-TEC) 의 사용은 또한 배치 내 입자 생성을 감소시켜 수율 향상을 보장합니다. 전반적으로 TOKYO ELECTRON Telius SP는 고품질 에칭/애싱 응용 프로그램을 지원하는 고급 기능을 갖춘 효과적인 기계입니다. 반도체 소자 제작에 이상적인 솔루션이 될 뿐만 아니라, 정확하고 반복 가능한 결과와 낮은 환경 영향 (Environmental Impact) 을 제공합니다.