판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9197601

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP는 대규모, 정밀 에칭 및 애싱 작업을 제공하기 위해 설계된 에처/애셔입니다. 이 장비는 프로세스 최적화 (Process Optimization) 및 프로덕션 라인으로의 통합을 지원하는 개방형 아키텍처로 설계되었습니다. TEL Telius SP는 조정 가능한 전압, 전류, 총 에칭 시간, 펄스 펄스/오프 편의성을 통해 안정적인 프로세스 성능을 보장하기 위해 강력한 발전기에 의해 구동됩니다. 이 시스템은 최대 6 "웨이퍼 직경을 수용하고 하이브리드 형 드라이 에칭/고밀도 플라즈마 방법을 사용하여 초정밀 필름을 가능하게하기 위해 대규모 에칭 프로세스를 제공하기 위해 개발되었습니다. TOKYO ELECTRON Telius SP는 최고 300GHz 주파수와 최고 20kW의 고주파 전력을 통해 견고하고 안정적인 에칭 및 애싱 프로세스를 위해 고출력 발전기를 사용합니다. 이 에처/애셔 (etcher/asher) 는 산소 및 질소에서 희귀 가스에 이르기까지 다양한 공정 가스를 처리 할 수 있으며, 특수 플라즈마 청소 공정 기능을 갖추고 있습니다. 또한 Telius SP는 제어 가능한 전자 레인지 모드 및 점화 명령 기능, 4 방향 스위칭, 멀티 샷 발사, 메모리 어레이 프로세스 데이터 및 웨이퍼 전체의 에칭 레이어의 완벽한 균일성을 갖춘 고정밀 등급 작동을 제공합니다. 자동 정렬 및 카세트 기반 로드/언로드 기능을 갖춘 TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP는 처리 시간이 짧고 성능이 뛰어난 완전 자동화 프로세스 흐름을 제공합니다. 이 장치는 최적의 유지 보수 기능을 제공하도록 설계되었으며, Service Request 에 신속하고 안정적으로 대응할 수 있습니다. 전체 머신은 높은 수준의 매개변수 사용자 정의, 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface, GUI), 프로세스 데이터의 내보내기/가져오기 (Export/Import) 를 포함하는 포괄적인 소프트웨어 패키지와 쌍을 이루어 운영 라인에 원활하게 통합할 수 있습니다. TEL Telius SP etcher/asher는 전체적으로 정밀 에칭 및 애싱 작업을 위한 최첨단 솔루션을 제공합니다. TOKYO 전자 텔리우스 SP (TOKYO ELECTRON Telius SP) 는 최고 수준의 성능, 광범위한 프로세스 기능, 자동화된 프로세스 흐름을 통해 높은 효율성과 탁월한 정확성을 필요로 하는 생산 라인에 이상적인 선택입니다.