판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9197588
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ID: 9197588
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2005
Oxide etcher, 8"
(3) Telius SP vesta chambers
2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP는 전자 부품 생산을 위해 설계된 고급 에칭 장비입니다. 이 모델은 주 워크 스테이션, 진공실, 외부 질소 장치로 구성된 자체 포함 시스템입니다. 고정밀 빔 스캔, 초고진공 프로세스, 자동 웨이퍼 리프트 및 질소 펌프 기능과 같은 최첨단 기술이 장착되어 있습니다. 이 기계는 커패시터, 트랜지스터, 저항기와 같은 소형 부품의 준비에 적합합니다. 이 도구에는 혁신적인 3 차원 동작 자산이 있으며, 이는 x축, y축 및 z축을 따라 동작을 정확하고 정확하게 제어하여 고정밀 에칭 및 증착을 보장합니다. 또한, 이 모델의 초고진공 (ultra-high vacuum) 기능은 오염 물질의 제거를 보장하며, 이는 고급 프로세스에 필수적입니다. TEL Telius SP에는 웨이퍼 리프트 (wafer-lift) 기능이 있어 작은 공간에서도 웨이퍼를 손쉽게 처리할 수 있습니다. 또한 독립적 인 질소 (Nitrogen) 장비를 갖추고 있으며, 설계 패턴에 따라 질소 증착 (Nitrogen deposition) 을 정확하게 관리하고 매우 얇은 증착 필름을 달성하도록 설계되었습니다. TOKYO ELECTRON Telius SP는 오류 없는 에칭 및 증착뿐만 아니라 빠른 처리 처리량을 달성하도록 설계되었습니다. 여러 웨이퍼를 동시에 처리하고 중단 없이 연속적인 프로세스를 처리할 수 있습니다. 또한 설치 프로그램 (Setup program) 을 통해 운영자는 최대 8주기의 웨이퍼 (wafer) 를 쉽게 미리 보고 조정할 수 있습니다. Telius SP 의 직관적인 사용자 인터페이스에는 PC 기반 소프트웨어 환경과 함께 편리한 GUI (그래픽 터치 스크린) 가 포함되어 있습니다. 직관적인 사용자 인터페이스와 사용이 간편한 PC 소프트웨어의 조합을 통해 엔지니어는 원하는 사양에 따라 처리 조건을 신속하게 미리 보고, 편집하고, 조정할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 광범위한 레시피, 내장 편집 도구, 데이터를 다른 컴퓨터로 전송하는 기능 (영문) 을 제공합니다. TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP는 임베디드 작동 장치 (Embedded Operating Unit) 로 구동되며, 고급 인공 지능 기술을 사용하여 오류를 최소화하고 결과를 최적화합니다. 이 기계는 또한 환경 안전 표준 (Environmental Safety Standard) 을 준수하여 운영자의 안전을 안정적으로 작동시키고 보존합니다. 전반적으로 TEL Telius SP (TEL Telius SP) 는 최첨단 기술과 뛰어난 사용자 친화적 인터페이스를 갖춘 고급 에칭 툴로, 고정밀 구성 요소를 생산하는 데 적합합니다. 독보적인 질소 자산, 웨이퍼 리프트 (wafer-lift) 기능, 손쉬운 운영 환경은 전자 부품 생산을 위한 포괄적인 프로세스를 제공합니다.
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