판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9197577

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP는 반도체 제작 산업에 사용되는 에처/애셔입니다. 고밀도 웨이퍼를 처리하고 중요한 반도체 요구사항을 위한 탁월한 성능을 제공하도록 설계된 풀 사이즈 애셔 (full-size asher) 입니다. TEL Telius SP는 여러 개의 웨이퍼 전송 카트가 장착 된 5 축 선형 드라이브 로딩 장비로 구성된 풀 사이즈 도구입니다. 다양한 언어를 선택할 수있는 19 인치 디스플레이 콘솔과 키보드가 있습니다. 레이아웃을 사용하면 리드/무연 장치 전환이 쉽고, 액체 필터가 내장된 자동 웨이퍼 처리 시스템이 제공됩니다. 이 장치는 내식성 향상을 위해 고급 스테인레스 스틸 (Stainless Steel) 로 제작되었으며 ESD 안전 케이블이 사전 연결되어 있습니다. TOKYO ELECTRON Telius SP에는 4 축 스피너가있는 여러 공정 챔버 (process chamber) 가 있으며, 사용자가 에칭 및 애싱 프로세스를 잘 제어할 수 있습니다. 스피너는 고속 회전 (Fast-spinning) 및 고해상도 회전 (High-resolution spinning) 과 10k rpm에서 25k rpm의 가변 속도 범위를 제공합니다. 또한 개선 된 차동 압력 제어 기계, 최적화 된 진공 기술, 균일 한 전원 공급 장치를 갖추고 있습니다. 청소 과정 도 개선 되어, "브로마이드 '수소 공정 을 통해" 웨이퍼' 를 효과적 으로 청소 하고 화학 물질 을 자동적 으로 보충 한다. Telius SP에는 또한 생성 냉각 챔버 (Generative Cooling Chamber) 가 있으며, 이는 반응 생성물의 제거를 향상시키고 마스크 손상을 줄입니다. TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP는 고정밀 에칭 및 애싱 기능 외에도 자동 사용자 액세스 제어, 충격 탐지기, 화재 방지 도구 등의 고급 안전 기능을 제공합니다. 또한 다양한 TEL 소프트웨어에 대한 다양한 프로세스 관리 툴과 통합이 제공됩니다. TEL Telius SP는 반도체 제조 시설에서 대용량 생산 및 고정밀 품질 제어를 위한 완벽한 툴입니다. 빠른 주기 시간 (fast cycle time) 과 매우 정밀한 공정으로 다양한 웨이퍼 크기와 두께를 처리하도록 설계되었습니다. 온도, 시간, 현재 추적 기능으로 인해 더 나은 프로세스 결과를 얻을 수 있으며, 다양한 프로세스 제어 (process control) 옵션을 갖추고 있습니다.