판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9197570

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP는 대용량 생산에 이상적인 병렬 클러스터 유형 etcher/asher입니다. 정확성과 정확성을 갖춘 복잡한 3D 구조를 만들기 위한 비용 효율적인 솔루션입니다. 간편하고 사용자 친화적인 운영 장비를 갖추고 있어 고급 프로세스 레시피 (process recipe) 를 통해 운영자를 안내하는 데 적합합니다. TEL Telius SP에는 웨이퍼의 포토 esist 코팅, 사전 처리, 에칭 및 상단 표면의 재싱을위한 모듈이 4 개 있습니다. 각 모듈은 다운타임 없이 안정적이고 반복 가능한 성능을 제공합니다. 사전 처리에는 산소 및 플루오린 주사가 포함되며, 이는 표면을 부드럽고 심지어 부드럽게 만듭니다. 정전기 척은 웨이퍼를 제자리에 고정시키는 데 사용되며, 고급 임피던스 시스템에는 플라즈마 전원을 제어하기위한 ASYST Real-Time Plasma Unit (ASYST Real-Time Plasma Unit) 이 포함됩니다. 에칭 모듈은 고출력 플라즈마 (Plasma) 공정으로 구성되어 있으며, 정확도와 정밀도가 높은 미크론 크기까지 깊고 복잡한 3D 구조를 만들 수 있습니다. 사용된 에치 시간 (etch time) 과 재료 (material) 는 모두 자동으로 모니터링되고 제어되어 품질 결과를 보장합니다. 또한, 정밀 기판 마운팅에 다중 축 카세트를 사용할 수 있으며, 린스 작업 중에 DI 수위를 모니터링하기 위해 전용 EMGD CCD 카메라가 포함되어 있습니다. 애싱 모듈은 고 동력 산소 혈장을 사용하여 유기 및 무기 광 소제를 모두 제거합니다. 또한 0.1äm 깊이의 정밀도로 표면에 부드러운 마무리를 제공합니다. 이 모듈은 또한 플라즈마 (Plasma) 공정에서 방출되는 입자가 이웃 구획의 웨이퍼를 분산시키는 것을 방지하는 원주성 차폐 (circumferential shielding) 를 특징으로합니다. TOKYO ELECTRON Telius SP의 대용량은 최대 2,400 기판으로, 대용량 생산에 이상적인 제품입니다. 또한 대부분의 화학 물질, 가스 (gase) 와도 호환되며 모듈식 디자인이 제공되므로 쉽게 업그레이드할 수 있습니다. 게다가, 이 기계는 장기간 작동을 보장하는 광범위한 내장 (BIST) 안전 기능으로 매우 자동화되었습니다. 따라서 Telius SP는 정확하고 정확한 고해상도 구조를 처리하기 위한 완벽한 솔루션입니다.