판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9197565
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ID: 9197565
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2004
Oxide etcher, 8"
(3) Telius SP vesta chambers
2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP는 고급 반도체 제작 프로세스를 위해 설계된 고성능 플라즈마 에처입니다. 이 에처 (etcher) 는 업계에서 가장 높은 플라즈마 소스 중 하나이며, 뛰어난 정확도로 높은 처리량을 제공합니다. 또한 다양한 프로세스 요구를 충족하도록 구성할 수 있습니다. TEL Telius SP는 높은 반응성 에너지 이온 및 밀도가 높은 플라스마를 허용하는 고급 플라즈마 소스 기술을 갖추고 있습니다. 이 기술은 프로세스 에칭 (etching process) 에 소요되는 주기 시간을 크게 단축하고 운영 속도를 높여줍니다. 이 장비는 또한 에칭 된 기능의 최적의 균일성과 반복성으로 뛰어난 정밀도를 제공합니다. 광범위한 구성 옵션 (Configurability Option) 을 통해 다양한 반도체 프로세스를 조정할 수 있습니다. 이 시스템에는 온도 센서, 습도 센서 등 다양한 모니터링 및 제어 도구 (예: 온도 센서, 습도 센서) 가 있습니다. 이를 통해 최적의 에칭 (etching) 조건을 보장하고 프로세스 오염 가능성을 줄일 수 있습니다. 또한 통합 데이터 로깅 (Integrated Data Logging) 기능을 통해 프로세스를 모니터링하고 검토하여 품질 보증 및 문제 해결을 수행할 수 있습니다. 이 장치는 직관적인 제어 기능을 갖춘 사용자 친화적인 인터페이스를 제공하여, 쉽게 배우고 작동시킬 수 있습니다. 기존 반도체 구성 시스템에 쉽게 통합되며 배치 (batch) 및 단일 웨이퍼 (single-wafer) 처리 요구 사항과 모두 호환됩니다. 전체적으로 TOKYO ELECTRON Telius SP는 탁월한 정확성, 빠른 처리량 및 재료 호환성을 제공하는 고급 에칭 머신입니다. 최첨단 반도체 제작 프로세스를 위한 탁월한 선택으로, 최고의 정확성과 구성성을 제공합니다.
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