판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9178722

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP는 에칭/애싱 장비로, 다양한 유형의 표면 준비에 적합하여 원하는 표면 형태를 만듭니다. 이 시스템은 주로 반도체 제조 및 MEMS, 에너지 장치, 박막 전자 부품, 광학 시스템 등 다양한 산업에서 사용됩니다. TEL Telius SP는 정확도가 높은 다양한 에치 패턴과 모양을 만들 수 있습니다. 고급적이고 정밀한 제어 기술을 사용하여 에칭/애싱 (eching) 프로세스를 제어하여 정확도를 높이고 품질을 높입니다. 또한 저압 마이크로 에칭을 사용하여 균일 한 에치 깊이와 모양을 보장합니다. 이 장치에는 다양한 도구와 액세서리가 장착되어 있으며, 다양한 에칭 (etching) 애플리케이션에 사용할 수 있습니다. 여기에는 에칭을위한 다양한 크기 마스크 프레임, 언더컷에 사용할 수있는 비활성 가스 (inert gas) 및 다이 서브 플레이트 (die sub- plate) 가 포함됩니다. 또한 깊은 RIE, 습식 에칭 및 열 치료와 같은 청소 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 또한 기계는 에칭/어싱 (etching/ashing) 프로세스가 최적의 조건에서 수행되도록 프로세스 제어를 제공합니다. 센서는 압력, 온도 및 기타 매개변수를 모니터링하여 프로세스에 대한 피드백을 제공합니다. 이렇게 하면 "에치 '기판 이 손상 되지 않도록 안전 한 방법 으로 공정 을 수행 할 수 있다. TOKYO ELECTRON Telius SP (Tokyo ELECTRON Telius SP) 에는 프로세스 매개변수를 쉽게 입력하고 에칭/어싱 프로세스를 실시간으로 모니터링할 수 있는 터치 스크린 디스플레이가 제공됩니다. 이 툴에는 상세한 기록 관리 (recordkeeping) 를 위한 데이터 로깅 (data logging) 도 포함되어 있으며, 다른 프로세스의 분석 및 비교에 사용할 수 있습니다. 공정 제어 (process control) 기능뿐만 아니라 복잡한 패턴과 모양을 정확하게 에치 (etch )/어싱 (ashing) 하는 자산의 능력은 다양한 제조 환경에서 표면 준비를위한 귀중한 자산입니다. 손쉬운 터치스크린 (Touch Screen) 및 데이터 로깅 (Data Logging) 기능을 통해 사용자가 에칭 프로세스를 추적 및 분석하여 빠르고 효율적으로 결과를 얻을 수 있습니다. 이는 탁월한 기능과 더불어 Telius SP 를 모든 제조 라인에 추가할 수 있게 해 줍니다.