판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #293637535

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP는 산업 박막 응용 분야를 위해 설계된 혁신적인 플라즈마 에처입니다. 고성능 RF 발전기와 마그네트론을 활용하여 무선 주파수 플라즈마 (radio-frequency plasma) 를 효율적으로 생성하고 향상시키는 플라즈마 기반 장비다. 에처 (etcher) 는 또한 최소한의 인간 개입으로 최적의 에치 결과를 유지하기 위해 필요에 따라 매개변수를 변경할 수있는 통합 머신 러닝 시스템 (integrated machine learning system) 을 갖추고 있습니다. TEL Telius SP 는 고급 사이클 에치 (cyclic etch) 프로세스를 통해 다른 에칭 시스템보다 훨씬 빠른 속도로 재료를 가져올 수 있습니다. 에칭 챔버 (eching chamber) 는 최대 4 개의 대기 압력으로 작동 할 수 있으며, 이는 공정의 클러스터링 효율을 높이는 데 도움이됩니다. 또한 자동 레벨 링 메커니즘을 사용하여 표면에 호위 전위를 골고루 퍼뜨리고 에칭 가스 (etching gase) 의 증발 속도를 감소시킵니다. 견고한 설계로 -5 ~ 75 ° C의 온도에서 작동 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Telius SP는 뛰어난 에칭 기능 외에도, 에칭 후 박막에 대한 분석을 수행하는 고성능 광학 이미징 장치를 자랑합니다. 이 이미징 머신에는 고성능 CCD 카메라, 광학 현미경, 이미징 컴퓨터 등 여러 구성 요소가 장착되어 있습니다. 이러한 컴포넌트를 사용하여 이 도구는 박막 샘플에 대한 상세 분석 (detail analysis) 을 수행할 수 있으며, 에치 속도 (etch rate), 서피스 프로파일 (surface profile) 및 샘플의 두께 (thickness) 에 대한 데이터를 사용자에게 제공합니다. 텔리어스 SP (Telius SP) 와 함께 제공되는 사용자 친화적인 인터페이스와 직관적인 소프트웨어를 사용하면 고급 기술 지식이 필요 없는 에칭 (etching) 자산을 쉽게 설정하고 운영할 수 있습니다. 셋업 (setup) 프로세스는 빠르며, 몇 가지 간단한 단계로 모델을 보정할 수 있습니다. 통합 머신 러닝 장비 (Integrated Machine Learning Equipment) 를 사용하면 시스템이 완전히 자동화되므로 복잡한 매개변수 설정이 필요하지 않습니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP는 플라즈마 에칭 기술의 최신 발전을 보여줍니다. 고급 사이클 에치 (cyclic etch) 프로세스를 통해 다른 시스템보다 훨씬 빠른 속도로 재료를 가져올 수 있으며, 고성능 이미징 장치 (HPS) 를 사용하면 박막 샘플에 대한 자세한 분석을 수행할 수 있습니다. TEL 텔리어스 SP (TEL Telius SP) 는 견고한 설계와 자동화된 설치 및 운영을 통해 고급 플라즈마 에처 (etcher) 를 찾는 산업 응용프로그램에 적합한 선택입니다.