판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP 308QS #9267845

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP 308QS는 고급 생산 프로세스를 위해 설계된 에처/애셔입니다. 3xnm 이하의 다양한 프로세스 기술에서 메모리 (memory) 및 논리 장치 (logic device) 애플리케이션에 적합합니다. etcher/asher는 DFQ (Dual Frequency Quartz) Waveguide를 사용하여 더 광범위한 응용 프로그램에 더 높은 에너지를 제공합니다. TEL Telius SP 308QS는 뛰어난 프로세스 균일성과 처리량을 제공하는 고급 챔버 설계를 갖추고 있습니다. 이 장비는 실내 정전기 척으로 설계되어 안전한 웨이퍼 투 웨이퍼 (wafer-to-wafer) 및 웨이퍼 투 그라운드 접촉, 철저한 웨이퍼 클리닝 및 부드러운 에치 프로파일을 가능하게합니다. 또한이 etcher/asher에는 쿼드 포지션 웨이퍼 (quad position wafer) 가 있으며, 동일한 런에서 다른 웨이퍼 크기를 가능하게하여 처리량과 유연성이 향상되었습니다. TOKYO ELECTRON Telius SP 308QS는 자동 덮개 열기/닫기 및 Cryo-Vesicle 캡처 옵션으로 진공 조임 구조를 사용합니다. 또한 PBrF 프로세스 제어 장치와 함께 작동하는 멀티 레이어 셔터 시스템 (multi-layer shutter system) 이 장착되어 있습니다. 이 머신은 제품 특성 (product properties) 을 효과적으로 제어하고, 프로세스 계층 및 웨이퍼에 걸쳐 일관된 수율을 유지하는 데 도움이 됩니다. Telius SP 308QS etcher/asher는 또한 다양한 고급 유지 관리 및 안전 기능을 제공합니다. 여기에는 공기 칼 분해 방지 도구 (air knife breakdown prevention tool) 와 신뢰성 향상을위한 화학 배기 방지 자산, 안전 향상을 위해 웨이퍼 재배치 된 단일 웨이퍼 및 로봇 암 보호 시스템이 포함됩니다. TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP 308QS etcher/asher는 고효율, 정확성 및 신뢰성 있는 성능을 제공하도록 설계되어 고급 에칭 및 애싱 생산 프로세스에 적합합니다. 탁월한 제어, 균일성, 유연성을 제공하여, 사용자는 운영 프로세스에 대해 반복적으로, 신뢰할 수 있는 결과를 얻을 수 있습니다.