판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP 308QS #9267844

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP 308QS는 자동차 제조업체, 가전 회사 및 기타 산업에 정확하고 신뢰할 수있는 제조 공정을 제공하기 위해 설계된 혁신적인 etcher/asher 장비입니다. SP 308QS 는 높은 토크 (torque) 방식의 2축 수평 스테이지로, 다양한 속도 및 가속 프로파일에 걸쳐 정밀한 고속 스테이지 포지셔닝 및 처리를 지원합니다. 시스템의 고급 프로세스 제어 (Advanced Process Control) 는 기판의 표면 영역에 걸쳐 에칭 물질의 정확한 온도 제어 및 균일 한 증착을 보장하여 정확한 에칭/애싱 응용 프로그램을 가능하게합니다. TEL Telius SP 308QS는 고급 소프트웨어를 사용하여 탁월한 프로세스 제어 및 신뢰성을 보장합니다. 내장 CAD 기반 레시피 프로그램은 일관된 에칭 성능을 제공하는 반면, 내장 자동 인쇄 기능은 설계 및 프로토타입 작업 (work of design and prototyping) 을 크게 단순화합니다. 이 장치는 또한 여러 에칭/애싱 레시피를 쉽게 설치 및 구성할 수 있으며, 사용자 정의 에칭 및 애싱 레시피 작성 프로세스를 간소화합니다. TOKYO ELECTRON Telius SP 308QS 머신은 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 설계되었으며, 사용자는 에치/애셔를 신속하게 구성, 처리 및 모니터링할 수 있습니다. 이 도구는 또한 최대한의 안전을 위해 설계되었습니다. CE 마크 (CE Mark), IP2X 전기 케이스 (IP2X Electrical Enclosure), 긴급 상황 시 프로세스 자동 종료 (Automatic Process Termination) 등 다양한 안전 기능을 통해 안전한 작업 공간을 확보하고 사고를 예방할 수 있습니다. Telius SP 308QS에서 생성 한 반도체 에치/애쉬 (etch/ash) 는 최고 품질과 재생성성으로, 효율적인 작동과 높은 생산 수율을 보장합니다. 자산에는 정밀 프로세스 모니터 (precision process monitor) 가 장착되어 있어 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 조건의 변화가 가장 작아 프로세스 제어가 정확합니다. 이 모델은 또한 etch 및 ash 레시피에 대한 내부 및 외부 조정을 통해 미세 조정 기능을 제공합니다. TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP 308QS는 광범위한 온도와 압력에서 증발 및 에칭 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 따라서 최적의 웨이퍼 레벨 처리를 통해 생산성을 극대화할 수 있습니다. 또한, 이 장비는 새로운 기판 및 프로세스를 신속하게 수용하기 위해 유연하게 설계되었습니다. 이는 연구 개발 (Research and Development) 과 다양한 복잡하고 까다로운 프로세스의 산업 생산에 이상적입니다. TEL Telius SP 308QS 는 생산성과 효율성을 극대화하면서 탁월한 품질을 제공하도록 설계된 혁신적이고, 안정적이며, 안전한 etcher/asher 시스템입니다. 이 장치의 고성능 제어 시스템 (HPC) 및 통합 안전 (Integrated Safety) 기능은 안전한 작업 환경과 일관된 프로세스 결과를 보장하므로 사용자가 프로세스 애플리케이션의 가치를 극대화할 수 있습니다.