판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP 305 SCCM #293666983

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP 305 SCCM은 오늘날의 반도체 및 마이크로 전자 산업의 요구를 충족하도록 설계된 멀티 챔버 에처/애셔입니다. 박막의 높이를 정확하게 제어하기 위해 동급 최고의 고정밀 (high-precision) 프로세스와 최적의 유황 에치 레이트를 제공하도록 설계되었습니다. SP 305 SCCM 은 고급 자동 초점 기술, 고속 스캐닝 시간 (0.25 초), 낮은 잔류 (low resistivity) 모니터를 사용하여 최고 수준의 결과를 유지합니다. SP 305 SCCM 은 빠르고 효율적인 배치 로딩 및 언로딩을 위해 설계되어 처리량을 향상시킵니다. 동시 유황 에칭 및 저항을위한 여러 챔버 (chamber) 가 있으며, 이로써 챔버 사이클 시간이 줄어들고, 수확량이 개선되고, 다운타임이 최소화됩니다. 작동이 간편한 장비는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 정확하게 제어하여 사용자가 개별 요구 사항에 맞게 레시피를 사용자 정의할 수 있도록 합니다. TEL Telius SP 305 SCCM에는 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 가 장착되어 있으며, 이 인터페이스를 통해 운영자는 도구 성능 및 프로세스 조건을 추적할 수 있으며, 강력한 프로세스 레시피 및 진단 기능을 제공하여 문제를 쉽게 해결할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 강력한 제어 장치 (Control Unit) 를 갖추고 있으며, 사용자는 성능을 최적화하기 위해 프로세스 조건을 정확하게 모니터링할 수 있습니다. 이 기계는 TEL (Network of Service) 및 지원 전문가의 지원을 받아 높은 수준의 안정성과 최소 다운타임을 제공합니다. SP305-SCCM은 anodization, copper etching 및 aluminum etching을 포함한 다양한 에칭 및 애싱 프로세스에 적합합니다. 또한 강력한 DSP (Digital Signal Processing) 기술이 포함되어 있어 필름 높이 제어를 향상시키고 얇은 저항층 (Thin Resist Layer) 의 효율적이고 정밀한 재싱에 사용할 수 있습니다. 또한이 도구는 고품질 및 반복 가능한 프로세스 제어를 허용하는 TOKYO ELECTRON 고급 옥시 드 센스 (Oxide Sense) 저항 애싱 에셋과 함께 사용하도록 최적화되었습니다. TOKYO ELECTRON Telius SP 305 SCCM은 고급 기술과 사용자 친화적 인 디자인 및 직관적 인 컨트롤을 결합합니다. 이 제품은 견고하고 신뢰할 수 있는 모델로, 사용자가 최고의 정확도로 탁월한 정밀도 에칭 (etching) 결과를 얻을 수 있습니다.