판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP 305 SCCM TE #9282473

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP 305 SCCM TE는 화학 에칭 및 애싱 프로세스를 제어하기위한 최첨단 기술을 통합하는 모듈입니다. etcher/asher로서 TEL Telius SP 305 SCCM TE는 기판 에칭, 애싱 및 청소 활동을 정확하게 제어하도록 설계되었습니다. 유연한 장비 아키텍처로 구축 된 TOKYO ELECTRON Telius SP 305 SCCM TE는 직류 에칭 (DCE) 및 교류 에칭 (ACE) 프로세스에 대한 뛰어난 제어 기능을 제공합니다. 두 프로세스를 모두 일제히 실행할 수 있으므로 에치 균일성 (etch unifority) 과 항복 (yield) 을 최적으로 제어할 수 있습니다. Telius SP 305 SCCM TE에는 etcher/asher의 설정 및 사용을 단순화하는 자동 시스템 통신이 포함된 2 개월 제어 인터페이스가 포함되어 있습니다. 이 제어 장치는 온도와 압력, 전류와 같은 etch 변수를 실시간으로 읽는 모니터링 (monitoring) 및 데이터 로깅 (data logging) 기능이 통합되어 있습니다. 또한 재료 처리에 적합한 레시피를 선택할 수 있으며, 프로세스 균일성을 최적화하기 위해 디지털 에지 제어 (digital edge control) 로 프로그래밍됩니다. TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP 305 SCCM TE의 에처/애셔 디자인은 SAE (sandvikadiabatic etching) 를 할 수 있습니다. 또한 냉각 시간을 최소화하면서 가로세로비 (Aspect Ratio) 에칭을 통해 가로세로비 (Aspect Ratio) 를 극대화할 수 있습니다. 이 장치는 또한 언더컷 또는 중공을 제어하기 위해 최대 150 '온도의 에칭 기능과 온도의 제어 이방성 에칭 (TCAE) 을 제공합니다. TEL Telius SP 305 SCCM TE는 사용자가 최소한의 조정으로 복잡한 구조를 달성 할 수있는 다양한 사전 프로그래밍 된 에치 레시피를 제공합니다. 또한 고급 안전 장치 (Advanced Safety Machine) 를 사용하여 사용자와의 접촉을 보호하고 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스 이상을 최소화하기 위한 활동 모니터링을 제공합니다. 이러한 고유 한 속성이 결합하여 TOKYO ELECTRON Telius SP 305 SCCM TE는 시장에서 가장 기술적으로 진보 된 에처/애셔 중 하나입니다. 에치/애쉬 (etch/ash) 프로세스에 대한 탁월한 제어를 제공함으로써, 사용자는 일관되고 반복 가능한 프로세스 제어를 보장할 수 있으며, 이는 더 높은 수율과 더 높은 제품 품질을 초래합니다.