판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP 305 DRM #293659302

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP 305 DRM Etcher/Asher는 Silicon, SiGe, Gallium Arsenide 및 Sapphire를 포함한 다양한 반도체 웨이퍼 기판을 위해 설계된 고성능 에칭 및 애싱 도구입니다. 이 장비는 습식 및 건식 에칭/애싱 처리를 지원하며, 고급 에처 및 애셔의 고급 기술로 고급 필름 증착을위한 정확한 에칭/애싱 (etching/ashing) 을 지원합니다. Telius SP 305는 고정밀 에칭/애싱, 선형성 및 균일성을 제공하여 일관된 프로세스 성능을 제공합니다. Telius SP 305 는 고급 "스마트" 에칭/어싱 프로세스 제어 시스템을 제공하여 업계에서 가장 정확하고 일관성 있고 시간 효율적인 에칭/어싱 기능을 제공합니다. Telius SP 305는 서브 미크론 표면 처리, 초점 스캔의 고속 평면, 마스크를 통한 에칭/애싱, 디지털 이미징 기능과 같은 추가 기능을 허용합니다. Telius SP 305에는 연동, 침식 모니터링, 역방향 흐름 보호 기능을 갖춘 포괄적인 안전 장치도 포함되어 있습니다. 이 기계는 SEMI 및 ESD Semiconductor Safety 표준을 준수하여 공구가 안전하고 신뢰할 수 있도록 합니다. 따라서 모든 mis-etch/ash, semi-permanent effects 및 process spill에서 신속한 복구를 허용하므로 다운타임을 최소화하고 생산성을 극대화할 수 있습니다. 이 에셋은 직관적인 그래픽 인터페이스 (Graphical Interface) 를 통해 프로그램 기능과 자동화된 모델 정보에 쉽게 액세스할 수 있습니다. I/O 성능 호환성은 표준 PC 하드웨어와 소프트웨어를 기반으로 합니다. "스마트 에칭/애싱 (Smart Etching/Ashing)" 기술을 사용하면 장시간 데이터 로깅 및 레시피 관리를 위해 장치에 사용자 정의 에칭/애싱 프로그램을 만들고 저장할 수 있습니다. 임베디드 레시피를 사용하면 가능한 한 짧은 시간에 최적의 에칭/애싱이 가능합니다. 또한 Telius SP 305 는 업계 표준 챔버와 호환되며 실시간 etching/ashing 데이터 캡처가 가능하므로 프로세스 추적성 및 데이터 분석을 제공합니다. Telius SP 305 etcher/asher는 광범위한 마이크로 일렉트로닉 장치에 대한 초미세 구조 제작 연구 및 개발에 이상적입니다. 전반적으로 TEL Telius SP 305 DRM Etcher/Asher는 다양한 반도체 재료에 대한 동급 최고의 성능을 제공하는 정교한 에칭/애싱 장치입니다. 고급 에칭/애싱 제어 장비와 안전 기능으로, 효율성을 극대화하고 다운타임을 최소화할 수 있습니다 (영문). 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스와 업계 표준 챔버와의 호환성을 갖춘 Telius SP 305 etcher/asher는 모든 마이크로 일렉트로닉 장치 제작을위한 고급 에칭/애싱 솔루션입니다.