판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SCCM #9249074

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SCCM (TEL/TOKYO ELECTRON Telius SCCM) 은 업계에서 집적 회로 구조의 에칭을 위한 전례없는 수준의 프로세스 제어를 제공하도록 설계된 고급 에치/애쉬 에칭 솔루션입니다. 이 장비는 강력한 3 축 모션 시스템으로 구동되며 최첨단 와퍼 (wafer) 와 평면 패널 디스플레이가 장착되어 있습니다. 이 장치에는 온보드 모니터링 및 제어 모듈이 있으며, 각 에치/애쉬 (etch/ash) 에칭 프로세스의 속도, 압력 및 가스 흐름을 정확하게 모니터링하고 제어 할 수 있습니다. 직관적이고, 사용자 친화적 인 인터페이스를 통해 TEL 텔리우스 SCCM (TEL Telius SCCM) 은 각 에칭 런에 대한 레시피 매개변수를 조정하는 기능을 포함하여 정확한 프로세스 설정 및 제어를 허용합니다. 또한 기계는 자동으로 교정하여 최적의 프로세스 성능을 보장하고 레시피 (recipe) 와 에칭 (etching) 매개변수 세트를 제공하여 사용자의 에칭 프로세스 작업을 단순화합니다. 또한, 이 도구는 최대 99 개의 레시피를 저장할 수 있으며, 동일한 구조의 여러 레시피를 동시에 실행할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Telius SCCM은 임베디드 고압 안전 자산과 전용 비활성 가스 실린더로 설계되어 프로세스 안전을 최적화합니다. 이 모델은 또한 전력 관리를위한 전용 및 별도의 PCB (PCB) 를 특징으로하며, 각 에치/애쉬 프로세스를 제어하는 데 높은 정확성을 보장합니다. 또한, 이 장비는 내구성과 내구성이 뛰어난 에치/애쉬 챔버 (etch/ash chamber) 를 특징으로하며, 또한 공정 가스 활용도를 최대화하여 장기간 공정 작업 중 비용을 절감할 수 있도록 설계되었습니다. 이 시스템은 완전히 통합된 디지털 비전 (digital vision) 장치를 갖추고 있어 공정 영역을 지속적으로 제어할 수 있으므로 사용자에게 탁월한 시야 (field of view) 를 제공합니다. 또한 PC 기반 컨트롤러 (옵션) 를 제공하여 로컬 네트워크를 통해 웨이퍼 (Wafer) 포지셔닝과 데이터 수집 (Etching Data Collection) 을 실시간으로 추가로 제어할 수 있습니다. 전반적으로 Telius SCCM (Telius SCCM) 은 업계 에칭 프로세스를 다음 차원의 정밀도 및 제어를 위해 설계된 최고의 에치/애쉬 에칭 솔루션입니다. 강력한 3축 모션 머신, 직관적인 사용자 친화적 인터페이스, PC 기반 컨트롤러 (옵션) 를 갖춘 SCCM은 어디에서나 집적 회로 제조업체에 적합한 etcher/asher입니다.