판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SCCM #9230233
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ID: 9230233
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2005
System, 12"
(3) Chambers
Missing parts
Spare parts:
HPK1021-TE2
(3) AGA-50D
(3) DGP-120A2
(3) PS3 RF Pump boxes
2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Telius SCCM etcher/asher는 메모리 셀 형성, SOT 메모리 셀 정렬 및 일반 반도체 프로세스 응용 프로그램과 같은 반도체 관련 프로세스를 위해 설계된 단일 웨이퍼 레벨 솔루션입니다. 이 장치는 소규모 설치 공간과 대규모 생산 요구 사항을 고려하여 효율적이고 안정적인 에칭 (etching) 프로세스를 제공합니다. 고급 에칭 도구, 프로세스 모니터링 시스템, 고속 처리량 및 HD 결과를 위한 고급 프로세스 레시피 (compreess recipe) 조합이 특징입니다. 이 장치는 웨이퍼 에지 (wafer edge) 를 쉽게 정렬하고 뛰어난 반복성을 제공하기 위해 웨이퍼 레벨링을 위해 설계되었습니다. 혁신적인 도량형 모니터는 각 웨이퍼의 에칭 프로세스를 측정하고, 에칭 작업의 정확성을 확인하고, 프로세스 제어를 지원합니다. 또한, 실시간 오류 방지 (Error-Avoidance) 기능을 통해 최고의 생산성과 생산성을 위해 프로세스 최적화를 수행할 수 있습니다. TEL Telius SCCM (TEL Telius SCCM) 에 통합된 혁신적인 프로세스 자동화 툴은 레시피 다운로드 프로세스를 단순화하며, 운영자가 높은 생산성과 생산성을 위해 에칭 (etching) 작업을 빠르고 쉽게 구성할 수 있도록 합니다. 고급 프로세스 제어 및 모니터링 기능을 사용하면 특정 에칭 (etching) 요구 사항에 따라 기술 매개변수를 조정할 수 있습니다. 또한 TOKYO ELECTRON Telius SCCM은 편리하고 쉬운 작동을 위해 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스를 제공합니다. 이 시스템은 또한 고성능 카세트 기반 로드 모듈을 통합하여 안정적이고 처리량이 높은 환경을 제공합니다. 컴팩트하고 비용 효율적인 설계로 다양한 웨이퍼 (wafer) 생산 라인에서 에칭 작업을 통합할 수 있습니다. 이 에칭 시스템을 통해 반도체 제품 제조업체는 비용 효율적으로 처리량을 높이고 다운타임을 줄일 수 있습니다. Telius SCCM의 고급 안전 시스템 (Advanced Safety Systems) 은 환경을 모니터링하고 제어하여 잠재적인 안전 위험을 제거합니다. 또한, 운영자에게 데이터 로깅 및 아카이빙 기능을 제공하여 프로세스 추적 (process tracking) 을 향상시키고 규정 준수를 지원합니다. 또한 모니터링 시스템은 완벽한 추적 및 품질 보장을 위해 관리 정보 시스템 (Management Information System) 과 통합되도록 설계되었습니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON Telius SCCM etcher/asher는 반도체 관련 프로세스에 효율적이고 신뢰할 수있는 장치로, 오늘날 비용 민감한 시장에서 생산성 및 경쟁 우위를 확보할 수 있습니다.
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