판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SCCM Shin #9190591

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SCCM Shin (etcher/asher) 은 반도체 웨이퍼의 고정밀도, 고출력 및 효율적인 생산을 위해 설계된 고도의 에칭 머신입니다. MEMS 장치, CMOS, ASIC 및 복잡한 에칭 프로세스가 필요한 다른 응용 프로그램을 위해 특별히 설계되었습니다. 이 기계는 스텝 모터 (stepper motor) 와 합금 스핀들 포지셔닝 (spindle positioning) 기술을 통해 매우 정확하고 반복 가능한 결과와 재료 흐름을 모니터링하기위한 임베디드 이미지 인식 장비를 제공합니다. 또한 빠르고 효율적인 제작을 위해 4 축 고속 정밀 서보 시스템과 자동 웨이퍼 처리 (Automated Wafer Handling) 가 장착되어 있습니다. 이 장치는 에칭 가스, 패턴 및 온도를 정확하게 제어하여 높은 신뢰성 프로세스 제어를 허용합니다. 또한 폐기물 가스를 최소화하는 고속 가스 스위칭 머신 (fast-in fast gas switching machine) 과 원치 않는 온도 변화를 방지하는 실시간 온도 조절 도구를 갖추고 있습니다. 이 자산은 실리콘, 석영, 크롬, 텅스텐 등 여러 재료를 제작하도록 설계되었습니다. 또한 최대 100 개의 배치 크기로 최대 8 인치까지 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 직관적인 터치 스크린 인터페이스와 강력한 소프트웨어 기능을 갖춘 TEL Telius SCCM 신 (TEL Telius SCCM Shin) 은 반도체 장치의 시제품과 대량 생산에 이상적인 선택입니다.