판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Telius DRM #293627317

TEL TeleedTM DRM은 Canon의 석판 전문가와 협력하여 TOKYO ELECTRON이 개발 한 에칭/애싱 장비입니다. 에칭/애싱 (etching/ashing) 시스템은 직접 반전 마스킹을 사용하여 회로 설계의 지형을 반도체 웨이퍼에 에칭/재시합니다. 고급 웨이퍼 처리를 사용하여 TEL/TOKYO ELECTRON TelyedTM Etcher/asher는 원하는 회로 설계의 패턴을 모방하는 선과 패턴의 웨이퍼 표면에 재료를 제거하거나 추가 할 수 있습니다. 먼저, 원하는 회로 설계 에서 그림 같은 "마스크 '를 만든 다음," 레이저' 를 사용 하여 기계 를 "와퍼 '표면 으로 에치 '/" 애쉬' 선 과 무늬 로 연출 한다. TEL TeleasTM etcher/asher는 1 마이크로미터 (1/10 미크론) 의 10 분의 1의 해상도로 매우 정확합니다. 온보드 수치 제어를 활용하여 각 에칭/애싱 (etching/ashing) 작업을 효율적으로 실행하며, 배치 크기가 작은 대규모 생산, 다운타임이 최소화된 고품질 제품을 제공합니다. 또한 TelectionTM 툴에는 전원 및 배수에 사용할 수 있는 고급, 사용자 정의 가능한 매개변수가 포함되어 있어, 사용자가 특정 요구 사항에 맞게 에칭/애싱 (etching/ashing) 프로세스를 사용자 정의할 수 있으며, 속도와 처리량을 향상시킵니다. 이 자산은 OptiCoolTM (OptiCoolTM) 모델과 같은 전력 및 시간 절약을위한 특허를 받은 여러 가지 기술을 갖추고 있으며, 이는 변화하는 온도 및 유체 압력 (fluid pressure) 에 신속하게 대응합니다. TOKYO ELECTRON TeleedTM etcher/asher는 내장 자동 포지셔닝 장비, 자동 바닥판 감지, 완전 프로그래밍 가능한 단계 등의 추가 기능을 제공하여 대규모 생산의 유연성과 높은 수율을 제공합니다. 이 모든 기능을 통해 TEL/TOKYO ELECTRON TeleedTM Etcher/asher는 빠르고 정확하며 비용 효율적인 에칭/애싱 작업에 이상적인 선택이 가능합니다.