판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus #9251691

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus는 반도체 생산 프로세스에 사용되는 다기능 에처 또는 애셔입니다. 반도체 웨이퍼 (wafer) 에 패턴을 에칭하는 데 사용되며, 가장 복잡한 기능 중 일부를 에칭할 수 있는 고성능 장비다. 에처에는 독립적 인 정밀 다중 영역 온도 제어가 장착되어 있으며, 최대 온도는 800 ° C입니다. 온도 조절은 가스 패널 (gas panel) 과 유도 코일 (induction coil) 의 조합으로 활성화됩니다. 또한, 플러스 (plus) 는 독특한 플로팅 서셉터 디자인을 가지고 있으며, 웨이퍼 표면을 가로 질러 균일 한 에칭을 보장합니다. "서셉터 '는 저온" 서셉터' 로서 물질 에 아무런 손상 도 일으키지 않는다. 장비는 안정적이고 정확하며, 얕은 접합 형성, 저항 스트립, 손상 제거 및 웨이퍼 클리닝과 같은 프로세스를 가능하게합니다. 또한 시스템이 프로그래밍 가능한 엔드 포인트 모니터링 장치 (End-Point Monitoring Unit) 를 갖추고 있기 때문에 엄격한 프로세스 제어를 제공합니다. 이 기계는 명확한 종점에서 정확한 에칭을 보장합니다. 또한 EPM (Etcher/Processor Module) 이라는 고급 안전 도구를 사용하여 etch 프로세스를 안전하게 제어합니다. 이 에처는 또한 사용자 친화적이며, 터치스크린 디스플레이를 통해 빠른 프로세스 설정과 간단한 작업 (operation) 을 가능하게 합니다. 이것은 사용자 정의와 최적화가 용이한 '내장' 프로세스 레시피 때문에 가능합니다. TEL TELINDY Plus는 반도체 생산에 사용되는 고급 에처/애셔 자산입니다. 고유한 온도 조절, 서셉터 설계, 프로세스 제어 및 안전 기능을 통해 정확하고 안정적인 에칭 프로세스를 구현할 수 있습니다. 또한, 사용자에게 친숙한 인터페이스는 효과적인 프로세스 운영을 보장하기 위해 필요한 정보로 엔지니어를 업데이트합니다.