판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus #9251690

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus는 TEL에서 제조 한 에처/애셔 장비로, 반도체 산업에서 웨이퍼 처리, MEMS 제작 및 박막 캡슐화와 같은 다양한 마이크로 전자 장치를 패턴화하는 데 사용됩니다. 그것 은 "기판 '재료 의 정밀 에칭 과 재싱 (ashing) 이 원하는 모양 을 만들어 낼 수 있도록 설계 되었다. 시스템은 컨트롤러, 에칭 프로세스 챔버 및 진공 장치로 구성됩니다. TEL TELINDY Plus 시스템의 컨트롤러는 에칭 프로세스를 설정하고 프로그램을 시작하는 데 필요한 사용자 인터페이스를 제공합니다. 컨트롤러에는 에칭 (etching) 매개변수의 자동 조정을 가능하게 하는 고급 소프트웨어 (advanced software) 알고리즘이 포함되어 있어 프로세스에 대한 제어 및 유연성이 향상됩니다. 에칭 공정 챔버 (etching process chamber) 는 에칭 및 애싱 중에 기판을 수용하는 데 사용되는 모든 유리 챔버입니다. 챔버에는 특수 가스 전달 시스템, 에칭 전극, 압력 및 온도 센서가 장착되어 있습니다. 고도로 정의된 에칭 (etching) 환경을 제공하고 균일하고 일관된 에칭 결과를 보장하도록 설계되었습니다. TOKYO ELECTRON TELINDY Plus 자산의 진공 공구는 이온 게터 펌프 (ion getter pump) 와 로터리 베인 펌프 (rotary vane pump) 로 구성되어 기판 처리에 필요한 진공 수준을 제공합니다. 이 모델은 또한 진공 수준 (vacuum level) 의 유지보수를 지원하고 에칭 (etching) 공정에서 열 전달을 돕는 터보 펌프 (turbo pump) 를 특징으로합니다. TELINDY Plus (TELINDY Plus) 장비는 광학 투명 전극으로 설계되어 웨이퍼의 정확한 에칭 및 재싱을위한 전기장을 만듭니다. 전극은 또한 균일하고 반복 가능한 에칭 프로파일을 보장합니다. 이 시스템은 다양한 가스와 호환되며, 습식 에칭 (wet etching) 에서 건식 에칭 (dry etching) 에 이르기까지 다양한 프로세스를 구현하는 데 사용될 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus 장치는 반도체 산업에서 일하는 기술자에게 이상적인 안정적이고 효율적인 etcher/asher 기계입니다. 이 툴은 고급 수준의 자동화, 정확한 에칭 프로파일 (etching profiling) 및 다양한 프로세스 옵션을 제공하여 웨이퍼 (wafer) 처리에 이상적인 옵션을 제공합니다.