판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus High-K #9253810
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판매
ID: 9253810
빈티지: 2014
Furnace
Wafers: 100
Pressure control: APC Valve
Process gas:
AMPLE System: NxTi
TMA: F.S 500 Sccm
O3: F.S 20 Slm, 200 g/m3
N2
Octane
Vaporizer:
STEC (TMA, NXTi)
LSC-F530 (TMA)
STEC Z500 Series MFC (Mass Flow Controller)
Process temperature: 200° to 300°
2014 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus High-K는 전자 부품 생산 및 유지 보수에 사용되는 에처/애셔입니다. 하이케이크 (High-K) 공정 기술을 위해 특별히 설계되었으며, 최첨단 집적 회로 설계 (Advanced Integrated Circuit Design) 에서 가장 중요한 기능을 생산 및 유지 관리할 수 있습니다. TEL TELINDY Plus High-K는 독특한 이중 플라즈마 기술을 특징으로하여보다 균일 한 에치 패턴을 제공 할 수 있습니다. 고출력 (High Power) 과 고주파 (High-Frequency) 플라즈마 발전기는 안정적이고 안정적인 에칭 성능을 제공하여 고K형 장치 구조의 생산 및 유지보수에 적합합니다. 또한, 이 에처에는 향상된 프로세스 안정성 및 고급 통합 기능 (precision etching operation) 을 제공하는 통합 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 이 시스템은 프로세스 확장성 (process scalability) 에 최적화된 설계를 자랑하며, 다양한 웨이퍼 (wafer) 크기를 지원합니다. 또한 알루미늄, 폴리 실리콘, 갈륨 비소, 인듐 주석 산화물, 실리콘 온 인슐레이터 및 딥 트렌치 (deep trench) 를 포함한 광범위한 기질 재료를 제공하여 높은 K 공정을 포함하는 모든 작업에 적합합니다. 또한 간단하고 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 통해 단순한 드래그 앤 드롭 (drag and drop) 방식으로 장치를 구성할 수 있습니다. 이 기계는 고급 안전 기능 (Advanced Safety Features) 을 갖추고 있어 로딩 프로세스 (Loading Process) 를 비롯한 모든 주요 단계에서 운영자의 안전성, 안정적인 유지 관리 및 도구 업그레이드가 가능합니다. TOKYO ELECTRON TELINDY Plus High-K는 최신 에칭 기술을 제공합니다. 효율적이고 안정적인 운영을 통해 최첨단 High-K 프로세스 어플리케이션에 적합하며, 기판 호환성 및 프로세스 확장성을 위한 완벽한 다용성을 제공합니다 (영문). 직관적인 사용자 인터페이스 (User Interface) 와 고급 안전 기능 (Advanced Safety Features) 을 통해 모든 운영 및 유지 관리 요구 사항을 충족할 수 있는 귀중한 자산입니다.
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