판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY PLUS-B-M #293778314

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus는 TEL이 만든 자동 웨이퍼 에칭 머신입니다. 이 다목적 기계는 모든 유형의 웨이퍼 및 박막 패턴의 다단계 포토 esist 에칭 프로세스에 적합합니다. 텔 텔린 디 플러스 (TEL TELINDY Plus) 는 사진 해설을 위해 설계되었으며, 10mm ~ 8 인치 웨이퍼에서 다양한 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있으며 기판 온도는 실온에서 250 ° C 이상입니다. "와퍼 '와" 에치 렌즈' 와 "카메라 '" 시스템' 사이 의 정확 한 정렬 이 가능 한 고급 "플래튼 '장치 가 갖추어져 있다. 렌즈는 면역성 (immunity to high temperation) 을 특징으로하며 균일 하고 얼룩없는 에칭 결과를 제공하는 수차가 낮습니다. TOKYO ELECTRON TELINDY Plus는 에칭, 스팟 체크 및 청소 작업을 자동화합니다. 컴퓨터 제어 에치 헤드 (etch head) 를 사용하여 정확한 포토 esist 이미지 패턴화를 위해 웨이퍼 전체에서 지정된 점으로 이동합니다. 전해석 에치 챔버 (electrolytic etch chamber) 도 포함되어 있으며, 이는 데이터 왜곡이 제한된 미세 구조를 에칭하는 데 유익한 플라즈마 에칭 과정을 가능하게한다. 이 과정은 또한 저항의 에칭 균일성을 향상시킵니다. TELINDY Plus는 매우 사용자 친화적이며 사용하기 쉽습니다. 단순한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 통해 운영자가 쉽게 프로세스를 설정하고 모니터링할 수 있습니다. 화면에는 모든 작업 매개 변수가 표시되며, 도움말 기능을 사용하여 문제를 쉽게 해결할 수 있습니다. 또한, 설치 시간을 최소화하고 더 큰 기판의 병렬 처리를 보장하기 위해 최대 8 인치 웨이퍼를 보유 할 수있는 2 개의 웨이퍼 카세트 캐리어가 있습니다. 이 기계는 또한 에칭 (etching) 과정에서 사용되는 화학 물질의 구성, 수량, 품질을 제어하는 기능을 갖춘 통합 화학 관리 시스템 (Integrated Chemical Management System) 을 갖추고 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus는 웨이퍼 에칭에 최신 기술을 갖춘 훌륭한 기계입니다. 이 제품은 견고한 설계를 통해 안정성을 향상시켜 효율적인 에칭 (etching) 을 달성할 수 있으며, 제조 공정의 다운타임을 줄일 수 있습니다. 안전한 작동, 높은 처리량, 손쉬운 작동, 이 머신은 모든 photolithography 응용 프로그램에 적합합니다.