판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY PLUS-B-M #293752523

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY PLUS-B-M은 반도체 제조 및 마이크로 일렉트로닉스 산업의 정밀 표면 수정 및 처리를 위해 설계된 고급형 etcher 및 asher 장비입니다. 이 시스템은 에칭 (etching), 애싱 (ashing), 클리닝 (cleaning), 저항 스트리핑 (resist stripping) 과 같은 중요한 프로세스 단계에서 탁월한 성능, 안정성 및 반복 기능을 제공하는 최첨단 기술을 갖추고 있습니다. TEL TELINDY PLUS-B-M 장치의 핵심에는 기체 흐름, 압력, 온도 및 플라즈마 밀도와 같은 프로세스 매개 변수를 정확하게 제어 할 수있는 정교한 진공실이 있습니다. 이 챔버에는 최첨단 가스 전달 시스템, RF 발전기 및 플라즈마 소스가 장착되어 있어 특정 공정 요구 사항에 맞춘 광범위한 화학 물질 및 플라즈마 (plasma) 조건이 생성됩니다. TOKYO ELECTRON TELINDY PLUS-B-M 머신의 주요 기능 중 하나는 이중 모드 작동 기능으로, 챔버 재구성이 필요 없이 에칭 모드와 애싱 모드 간에 원활하게 전환할 수 있습니다. 이러한 다양성을 통해 사용자는 단일 툴에서 여러 프로세스 단계를 수행할 수 있으며, 주기 (cycle) 시간을 줄이고 전반적인 생산성을 높일 수 있습니다. 또한이 자산은 효율적인 기판 청소 및 표면 준비를 위해 유도 결합 플라즈마 (ICP) 및 다운 스트림 플라즈마 청소 기술을 모두 지원합니다. TELINDY PLUS-B-M 모델은 고급 프로세스 레시피 관리 소프트웨어를 통해 높은 수준의 프로세스 유연성과 사용자 정의를 제공합니다. 사용자는 특정 어플리케이션, 재료, 장치 구조에 대한 프로세스 레시피를 손쉽게 프로그래밍하고 최적화할 수 있으므로 etch 속도, 선택성, 균일성, 프로파일 제어를 정확하게 제어할 수 있습니다. 이 장비는 또한 실시간 프로세스 모니터링 및 제어 (Control) 기능을 갖추고 있으며, 사용자는 즉석에서 프로세스 매개변수를 조정하여 일관되고 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다. 하드웨어 설계 측면에서 TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY PLUS-B-M 시스템은 유지 보수, 서비스 용이성 및 운영 안전성에 중점을 둡니다. 이 장치에는 고급 진단 도구, 자체 조정 기능, 원격 모니터링 기능 등이 포함되어 있어 유지 관리 작업을 간소화하고 시스템 다운타임을 최소화할 수 있습니다. 게다가, 이 도구 는 엄격 한 안전 표준 을 고수 하며, 사고 를 방지 하고, 운영자 와 장비 를 보호 하기 위한 여러 가지 연동 장치, 경보 장치, 안전 장치 를 갖추고 있다. TEL TELINDY PLUS-B-M 자산은 반도체 제조 시설, 연구 실험실 및 고급 제조 환경의 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 견고한 구성, 고급 프로세스 기능, 사용자 친화적 인터페이스를 통해 고급 (advanced) 패턴화, 장치 제조, MEMS 제작, 박막 처리 등 다양한 어플리케이션에 적합한 솔루션이 됩니다. 탁월한 성능, 안정성 및 프로세스 제어 기능을 갖춘 TOKYO ELECTRON TELINDY PLUS-B-M 모델은 정밀 표면 처리 및 수정을위한 고품질 및 비용 효율적인 솔루션을 원하는 조직에 적합한 자산입니다.