판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus anneal #293638716

TEL TELINDY Plus Annealing (TOKYO ELECTRON/TE Tangential Etcher/Asher) 은 Nanoscale 기판에서 잔류 광 물질을 제거하기위한 고정밀 에칭/애싱 장치입니다. 주로 반도체, MEMS 및 기타 마이크로 전자 산업의 응용 분야에 사용됩니다. 이 장치에는 대용량 LCD 터치 패널이 있는 고급 TELINDY Plus 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 많은 프로세스 매개변수를 정밀하게 구성할 수 있습니다. 이 "컨트롤러 '는 화학" 에칭' 시간 과 농도 를 손쉽게 설치 하고 교정 할 수 있게 해 주며, 화학 "탱크 '의 온도 와 압력 을 조절 할 수 있으며, 최적 의 효율성 으로 수행 하도록 설정 할 수 있다. TEL/TOKYO ELECTRON/TE Tangential Etcher/Asher는 재료 손실을 줄이면서 우수한 화학 에칭 속도를 제공하는 고급 기술을 사용합니다. 이렇게 하면 작은 참호, 선, 접촉 과 같은 훌륭 한 특징 을 매우 정확 하게 식각 할 수 있다. 이 장치는 또한 높은 수준의 반복성으로 일관된 균일 에칭 결과를 제공합니다. RIE, ECR 및 ICP 에칭과 같은 습식 에칭 프로세스와 DRIE, ECR-DRIE 및 ECR-ICP 에칭과 같은 건식 에칭 프로세스에 적합합니다. 공정 중 웨이퍼 (wafer) 에 재배 된 재료의 접착을 개선하기 위해 어닐링 트리트먼트 (annealing treatment) 를 적용 할 수도 있습니다. 이 장치에는 고급 Pol-Pol 스크러버 장비도 장착되어 있습니다. 이것은 탱크에서 화학물을 회수하고 재순환함으로써 에칭 과정에서 폐기물 생성을 줄입니다. 또한, TEL/TE Tangential Etcher/Asher에는 냉각 시스템이 포함되어 있는데, 이 시스템은 작동 안전성을 높이고 화학 분해를 예방하는 데 도움이됩니다. TOKYO ELECTRON/TE Tangential Etcher/Asher에는 별도의 진공 장치가 있으며, 이는 증기 에칭과 같은 바람직하지 않은 프로세스를 제거하는 데 유용합니다. 또한 에디 전류 센서 (eddy current sensor) 가 있으며, 에칭 과정에서 기판을 감지하고 에칭 깊이를 정확하게 측정 할 수 있습니다. 이 정밀도는 일관된 결과를 보장하고 프로세스 수율을 향상시키는 데 도움이 됩니다. 또한, 이 장치에는 오작동을 경고하는 온보드 알람 머신 (On Board Alarm Machine) 이 장착되어 있습니다. 결론적으로 TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus Annealing (TEL/TE Tangential Etcher/Asher) 은 중요한 프로세스 매개변수와 우수한 에칭 속도를 정확하게 제어하도록 설계된 고성능 에칭/애싱 도구입니다. 첨단 기술로 다양한 기판과 소재 (material) 를 에칭할 수 있으며, 내장 메커니즘은 폐기물 생성을 줄이고 결과의 질 (quality) 을 향상시키는 데 도움이됩니다.