판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD #9285008

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD는 반도체 장치, 여러 광학 응용을위한 박막, 자기 재료 등 다양한 제품을 생산하기 위해 특별히 설계된 etcher/asher입니다. 이 장비는 "ALD (Gas-Only" Atomic Layer Deposition) 기술의 개선 된 버전을 기반으로하며, 이는 매우 정확하고 반복 가능한 증착 과정입니다. "필름 '의 두께 를 정확 하게 조절 하는 능력 은 ALD 과정 의 주된 장점 중 하나 이다. TEL TELINDY Plus ALD 시스템에는 진공실, 증착원, 배기 가스 라인, 가스 공급 장치, 전기 기계, 기계 도구 및 안전 장치가 장착되어 있습니다. 진공실 은 증착 과정 을 위해 설계 되었으며, 매우 다양 한 재료 를 처리 할 수 있다. 증착원은 고정밀 마이크로미터 헤드 (micrometer head) 와 정밀 압력 게이지 (pressure gage) 를 사용하여 증착의 노출 시간과 기간을 제어합니다. 배기 가스 라인 (exhaust gas line) 은 작동 중 결과 가스를 안전하게 폐기하는 데 사용됩니다. "가스 '의" 에셋' 은 ALD 공정 에 필요 한 "가스 '의 흐름 을 제공 하고 전기" 모델' 은 장비 에 필요 한 모든 전력 을 공급 한다. 기계식 "시스템 '은 증착원 과 배기" 가스' 선 과 같은 성분 의 위치 와 작동 을 조절 할 수 있는 일련 의 "모터 '와" 밸브' 로 이루어져 있다. 이 장치에 설치된 안전 장치 (Safety Devices) 는 시스템 고장 또는 잠재적 위험 (Potential Hazard) 이 발생할 경우 인력과 장비를 보호합니다. TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD 도구는 얇은 필름의 증착과 관련하여 몇 가지 이점을 제공합니다. 자산은 재료의 균일 한 증착을 보장하고, 더 높은 정도의 정확성과 반복성을 허용합니다. 또한, 증착 주기를 제어함으로써, 매우 특정한 두께의 필름을 증착 할 수있다. 이것 은 "박막 '의 정확 한 맞추기 를 요구 하는 응용 에 유익 할 수 있다. 마지막으로, 이 모델은 증착 과정의 효율성을 높여 증착 시간을 단축하고 비용을 절감합니다. 전반적으로 TELINDY Plus ALD는 박막의 정확하고 반복 가능한 증착을 위해 특별히 설계된 etcher/asher입니다. 기존의 증착기술에 비해 다양한 장점을 제공합니다 (향상된 정확성과 반복성, 정확한 증착주기 제어, 향상된 효율성 등). 이것은 박막이 필요한 응용 프로그램에 이상적인 선택입니다.