판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD #293638697

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD는 TEL (TE) 이 설계 한 매우 정교한 에처/애셔입니다. 고급 마이크로 일렉트로닉 및 광학 부품 제작을 위해 설계된 최첨단 장치입니다. TEL TELINDY Plus ALD는 이국적인 입자로 원자를 흥분시킨 다음 화학적으로 수정합니다. 이 프로세스는 새 레이어 구조에 재사용되는 칩 서피스에서 재료 ('에치') 를 제거합니다. 그 결과 생기는 박막 은 여러 가지 전자 및 광자 "응용프로그램 '에 사용 될 수 있다. TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD 시스템은 몇 가지 고급 에칭/증착 기술을 사용합니다. 화학 증기 증착 (CVD) 챔버는 TELINDY의 단계 중 하나입니다. 이 챔버 (chamber) 는 증기 상 전구체를 기화시키고 반응성 종을 기판에 침전시켜 얇고 균일 한 필름을 형성한다. 이 챔버에는 고정밀 셔터 (high-precision shutter) 와 필터 (filter) 가 장착되어 있어 원하는 영역을 정확하게 에칭할 수 있습니다. 전자 빔 클러스터 도구 (Electron Beam Cluster Tool) 는 높은 종횡비 및 고밀도 재료에 적합한 고해상도 패턴을 제공합니다. 이 도구 는 전자보 를 기판 위 에 꽉 끼게 한 다음, 전자 가 그 특징 을 에치 (etch), 형태, 혹은 발전 시키도록 지도 한다. 물리적 증기 증착 (PVD) 챔버는 TELINDY Plus ALD 기술의 일부이기도합니다. PVD는 수직 복잡한 구조를 구축하는 데 사용됩니다. 이 방은 증발 원, 방패, 비활성 대기를 통합하여 원하는 재료를 기판에 배치합니다. TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD는 또한 다양한 스퍼터링 기술을 사용하여 구조를 에치, 예금 및 복제합니다. 이 기술은 칩에 반도체 등급 물질을 에치 (etch), 예금 (deposit) 및 복제하기 위해 물리적 또는 화학적 스퍼터링 공정의 배열을 사용합니다. TEL TELINDY Plus ALD 에처/애셔는 매우 강력하고 정밀한 프로세스 도구입니다. 가장 정밀도 높은 구성 요소 및 공정의 사용으로 인해 가장 고급 마이크로 일렉트로닉 (microelectronic) 및 광자 (photonic) 구성 요소를 만드는 것이 완벽한 에처/애셔 (etcher/asher) 입니다. 전체 에칭 (etching), 증착 (deposition), 스퍼터링 (sputtering) 프로세스 제품군을 갖춘 이 기계는 최고 품질의 제품과 결과를 낼 수 있습니다.