판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD #293609248

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD는 마이크로 전자 제조 공정에 사용되는 고정밀 도금 장비입니다. 그것은 사전 건조 에처와 asher의 두 기계의 조합입니다. 에처는 라디칼을 사용하여 기질에서 화학적으로 에칭 된 물질, 그리고 에치 후 잔기 (post-etch residue) 를 제거한다. 이 과정은 최적의 증착 및 도금을 위해 기판을 준비하는 데 도움이됩니다. 애셔 (asher) 는 또한 라디칼을 사용하여 기질과 적용 물질 사이에 단단한 결합을 형성하여 고 층 대 층 접착을위한 이상적인 장치가된다. TEL TELINDY Plus ALD는 도금 및 물리적 증기 증착 (PVD) 을 포함한 다양한 응용 분야에 사용될 수 있습니다. 여러 층의 필름과 재료를 동시에 가져올 수 있습니다. 공정 진행 및 화학에 대한 정확한 모니터링을 위해 엔드 포인트 탐지를 갖추고 있습니다. 이 시스템의 1 차 공정 챔버는 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며 압력과 온도 모두를 적극적으로 제어하도록 설계되었습니다. 이 챔버 (chamber) 는 크기 측면에서 유연성을 제공하여 운영자가 한 번에 여러 기판을 도금 할 수 있습니다. 또한 챔버는 입자 생성을 줄여 오염이없는 환경을 제공합니다. TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD는 압력 스위치, 광 연동 센서, 코드 리더기 및 바코드 지원을 포함하여 안전한 작동을 보장하는 통합 안전 기능을 제공합니다. 사용자 인터페이스는 매개변수 설정, 그래픽 표시기, 온보드 지침이 포함된 직관적인 인터페이스를 제공합니다. 또한 TELINDY Plus ALD에는 전체 etch 및 증착 프로세스를 제어하는 ACS (Advanced Control System) 소프트웨어가 장착되어 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD는 비용 효율적이고 반복 가능한 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 고정밀 에칭 및 애싱 프로세스는 microelectronic 구성 요소의 최고 크기를 얻습니다. 프로세스 모니터링 기능은 정확성을 높이고 전반적인 위험을 줄입니다. 또한, 통합 안전 장치, 사용자 친화적 인터페이스 및 자동화 된 소프트웨어를 통해 마이크로 일렉트로닉 제조에 이상적인 에처 (etcher) 및 애셔 (asher) 가 됩니다.