판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD High-K #293665667

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD High-K etcher/asher는 반도체 기판에서 고품질의 박막 코팅 및 상호 연결을 만드는 최첨단 장비입니다. 플라스마 강화 원자층 침착 (ALD) 을 사용하여 기질에서 고 k 물질 (유전체 상수가 이산화실리콘 (SiO2) 의 물질을 초과하는 물질) 을 침전시킵니다. TEL TELINDY Plus ALD High-K 시스템은 하나의 단계에서 필름을 패턴화하거나 얇게 만들 수있는 본격적인 에칭 장치입니다. 이 에처는 전통적인 드라이 에칭 머신에서 사용할 수없는 하이-k 필름과 함께 사용하도록 설계되었지만 이제 TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD High-K로 패턴화하고 에칭 할 수 있습니다. 이 에처 (etcher) 는 고급 에칭 및 증착 하드웨어가 장착 된 대규모 프로세스 챔버 (process chamber) 와 정밀한 프로세스 모니터링 및 제어를 제공하는 지능형 프로세스 제어 도구 (Intelligent Process Control Tool) 를 갖추고 있습니다. 공정 챔버 (process chamber) 는 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 구성되며 고품질 결과를 얻기 위해 각 공정 매개변수를 안전하고 효과적으로 제어 할 수 있습니다. 이 자산은 또한 디지털 이미징 현미경 (digital imaging microscope) 을 포함한 고급 광학 및 진단 장비 (diagnostic equipment) 를 특징으로하며, 이를 통해 사용자는 박막 증착 과정을 계속 주시할 수 있습니다. 에처 (etcher) 는 독점적 인 공정 가스 전달 모델에 의해 구동되며, 이를 통해 증착율, 필름 두께, 균일 성 및 기타 중요한 매개변수를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한 이산화규소, 산화알루미늄, 산화탄탈륨, 질화티타늄 등 다양한 물질을 증착 할 수 있습니다. 또한, 장비는 실리콘, 갈륨 비소, 저k 유전체 및 플라스틱으로 만든 기판을 포함하여 다양한 기판과 호환됩니다. TELINDY Plus ALD High-K etcher/asher는 에칭 기능 외에도 코팅 및 수동화 기능도 제공합니다. 다른 프로세스에 대해 다른 프로세스 레시피를 선택할 수있는 고급 증착 소프트웨어 (Advanced Deposition Software) 가 장착되어 있습니다. 또한 사용자는 에칭 (etching) 및 증착 (deposition) 프로세스를 신속하게 만들고 저장할 수 있으며, 작업 요구 사항에 따라 프로세스 간에 신속하게 전환할 수 있습니다. 또한, 시스템의 고급 안전 기능 (이온 빔 스캐너, Foup Cleaner 포함) 은 공구 수명을 위해 장치가 안전하고 안정적으로 실행되도록 합니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD High-K etcher/asher는 고 k 필름 처리를 위해 강력하고 신뢰할 수있는 도구입니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 증착 공정의 정밀 제어, 에칭 및 증착을위한 다양한 재료 및 기판을 제공하여 고급 반도체 연구 및 개발에 이상적인 선택이됩니다.