판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus A-M #9223290

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus A-M은 반도체 장치 제조에 사용되는 에처/애셔 장비입니다. IC 제조 공정에서 포토레시스트 스트리핑 (photoresist stripping) 및 에칭 (etching) 응용 프로그램을 위해 설계되었으며 기판에 피쳐를 효율적이고 정확하게 에칭합니다. 이 시스템은 3 축 X-Y 스테이지, 랙 리프트 유닛, 플랫폼 및 롤 터너로 제작되었습니다. 동작 드라이버는 서보 모터로 구동되므로 더 빠르고 부드럽게 동작합니다. 또한 PC가 연결된 PLC 머신을 사용하여 프로덕션 프로세스를 원격으로 모니터링 할 수 있습니다. X-Y 스테이지는 에칭과 스트리핑 모두에 대해 정확하고 정확한 패턴 배치를 허용합니다. 통합된 이중 추적 (dual tracking) 메커니즘을 통해 사용자는 에칭 전에 피쳐를 배치하기 위해 X-Y 방향으로 기판을 정확하게 스캔하고 추적할 수 있습니다. 이 도구에는 이더넷 (Ethernet) 및 오존 (Ozone) 소스를 포함한 여러 가지 에칭/스트립핑 소스 선택이 장착되어 있어 처리량 및 효율성이 향상됩니다. TEL TELINDY Plus A-M에는 완전히 밀폐 된 최첨단 챔버 디자인이 있습니다. 스테인리스 스틸 챔버 (Stainless Steel Chamber) 는 입자 및 기타 오염 가능성을 줄여 고품질의 재생성 결과를 초래합니다. 챔버에는 에칭 및 스트리핑 공정의 향상된 제어를 위해 20 개의 스테이션 정밀 기계가 장착되어 있습니다. 에셋은 또한 단면 이미징 모델 (cross-section imaging model) 과 기판 검사 장비를 가지고 있으며, 에칭 및 스트리핑 프로세스를 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON TELINDY Plus A-M은 높은 수준의 기능을 통해 생산성을 극대화할 수 있도록 설계되었습니다. 이 시스템은 통합 높이 측정, 고급 동작 제어 (Advanced Motion Control) 및 전송 및 기판 로딩 중 오류를 줄이는 기판 로딩 장치를 갖추고 있습니다. 또한 멀티 사이트 프로세스 제어를 통해 처리를 쉽게 수행하고 복제 정확도를 높일 수 있습니다. 또한, 이 기계는 안전 향상 및 제어 시스템의 완전 통합을 위해 통합 가스 스크러버 (gas scrubber) 를 갖추고 있습니다. 결론적으로 TELINDY Plus A-M은 반도체 장치 제조에 사용하도록 설계된 에처/애셔 도구입니다. 이 자산에는 3 축 X-Y 단계, 랙 리프트 모델, 단면 이미징 장비 및 기판 검사 시스템과 같은 고급 기능 및 기술이 통합되어 있습니다. 높이 측정 장치, 고급 모션 컨트롤 (advanced motion control) 및 통합 가스 스크러버를 사용하면 보다 효율적이고 정확한 에칭/스트리핑 프로세스가 가능합니다. 고급 설계 및 통합 기능을 갖춘 이 시스템은 IC 제조 공정을 위한 신뢰할 수 있는 솔루션을 제공합니다.