판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide #9373212

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide는 반도체 및 기타 물질 표면에 복잡한 패턴을 만들도록 설계된 에처/애셔입니다. TEL TELINDY Oxide는 통합 비전 장비와 웨이퍼 처리로 완전히 자동화되었습니다. "옥사이드" 의 자동화된 프로세스를 통해 사용자는 정확성과 반복성을 향상시켜 더 빠른 결과를 얻을 수 있습니다. 개별 프로세스의 경우, 산화물 (Oxide) 은 구성 된 웨이퍼의 실시간, 확대 이미지를 사용하는 디지털 비디오 카메라를 갖추고 시스템에 피드백을 제공합니다. 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 필요한 마이크로 프로세스를 작동하는 "손 (hands)" 역할을하며, 이미지 처리 장치는 빛과 화학 물질을 결합하여 형성된 웨이퍼의 상세하고 정확한 그림을 만듭니다. 연동된 실시간 머신을 사용하여 오존 (Ozone) 은 매우 정밀하게 추적 폭, 높이 및 깊이를 제어 할 수 있습니다. 오존은 또한 에칭 및 애싱 (ashing) 을 포함한 다양한 프로세스 기능을 제공합니다. "에칭 '은 화학 반응 을 이용 하여" 와퍼' 위 에 "패턴 '을 형성 하는 반면," 애싱' 과정 은 "패턴 '에서 부스러기 를 제거 한다. 두 프로세스는 모두 빠른 속도와 정확성으로, 스테이징 (staged) 주기는 더 쉽게 관리할 수 있습니다. 또한 Ozone은 etch 마스크를 수동으로 변경하지 않고 사용자 정의 패턴을 만들 수있는 POF (pat-on-the-fly) 기능을 제공합니다. 이렇게 하면 생산 시간이 단축되고 프로세스 간의 재구성이 제거됩니다. 또한, 오존 (Ozone) 은 엔지니어가 다양한 각도에서 전체 에칭 프로세스를 투명하게 볼 수 있도록 선택적 뷰 기능 (Selective Viewing Function) 을 제공하여 프로세스 초기 문제를 쉽게 파악하고 해결할 수 있습니다. 오존에는 총 연산자 제어를 위해 다양한 여러 언어가 제공됩니다. 직관적인 컨트롤 패널과 임베디드 안전 시스템은 안전한 작동을 보장합니다. 정확하고 고속 작동으로 인해 Ozone은 반도체 생산에 사용하기 위해 비용 효율적인 선택이되었습니다. 신빙성 있는 수술, 철저 한 청소, 특별 한 치료 로 "오존 '은" 반도체' 와 다른 재료 의 생산 에 크게 도움 이 될 것 이다.