판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide #9372781

텔/도쿄 전자 텔린 디 옥사이드 (TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide) 는 광범위한 표면에 여러 층의 금속 물질을 증착하도록 설계된 에칭/스퍼터링 장비입니다. 이 기계는 화학 증기 증착 (CVD) 프로세스를 사용하여 표면에 산화물 층을 증착시킵니다. 이 시스템은 두께 (thickness) 와 고도 (surface quality) 의 균일 한 레이어를 생성하여 우수한 전기 절연과 균일 한 전기 특성을 제공합니다. TEL TELINDY Oxide 장치는 챔버 크기가 6 "x 6" (150mm x 150mm) 인 단일 및 다중 레이어 화합물을 스퍼터팅 할 수 있으며, 인쇄 회로 보드 및 기타 기판에서 필름의 고정밀 증착이 가능합니다. 내장 RF 발전기는 안정적이고 일관된 스퍼터링 파워와 균일하고 일관된 산화물 층을 제공합니다. 또한, 기계는 필요한 프로세스 매개변수를 달성하는 데 필수적인 저압 환경을 생성하는 진공 펌프 (vacuum pump) 를 사용합니다. 이 도구는 티타늄, 탄탈륨, 알루미늄, 구리 및 텅스텐을 포함한 다양한 금속의 증착을 허용합니다. 단일 웨이퍼 에처는 최대 8 인치 (200mm) 의 전극 높이를 가지며 산소, 아르곤, 질소를 포함한 다양한 공급원에서 산화물을 퇴적시키는 데 사용될 수 있습니다. 자산은 또한 산화물 증착 (oxide deposition) 과정을 자동화하여 에칭 (etching) 과정에서 사용되는 시간과 노력을 줄일 수 있습니다. TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide 모델은 여러 가지 모델로 제공되며, 모두 반도체 및 인쇄 회로 기판 산업의 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 이 장비에는 다양한 프로세스 매개변수 (process parameter) 가 있어 복잡한 회로 기판 구조를 만들 수 있습니다. 이 시스템은 또한 안정적이고 일관된 증착 성능을 제공하는 과압 보호 장치 (over-pressure protection unit) 및 온도 제한 (temperation limitition) 과 같은 안전 모니터링을 구축했습니다. 모든 TELINDY 산화물 (TELINDY Oxide) 기계는 다양한 기질에서 고정밀 금속 필름을 증착하기위한 효율적이고, 안정적이며, 비용 효율적인 도구입니다. 유연하고 사용자 정의 가능한 옵션으로, 이 툴은 업계 최고의 표준을 충족하는 데 사용할 수 있습니다. 신뢰할 수 있는, 고성능 에칭/스퍼터링 자산을 찾는 제조 전문가에게 적합한 선택입니다.