판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide #9311153

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide는 반도체 웨이퍼를 에칭 및 세척하기위한 고급 장치입니다. 그것 은 습식 화학적 "에칭 '을 사용 하여 기본 기질 에 특정 한 두께 의 산화물 층 을 증착 시킨다. 이 산화물 층은 집적 회로의 격리, 전자 및 안테나 응용 분야의 유전층, 전자 기기의 표면 수동화 (surface passivation) 또는 광전자 장치의 자외선 (ultraviolet light) 과 같은 다양한 응용 분야에 사용될 수 있습니다. TEL TELINDY Oxide에는 고성능, 저용량, 펌프 인 (pump-in) 화학 저장 장비가 장착되어 있어 효율적이고 정확하며 효과적인 방식으로 작동 할 수 있습니다. 그 장치 는 폐쇄 된 "시스템 '속 에 있어서 위험 한 화학 물질 이 환경 으로 도피 하는 것 을 방지 하고 있다. 자동화 된 화학 전달 장치 (automated chemical delivery unit) 는 산화물 증착 공정을 정확하게 제어하여 정확한 두께를 허용합니다. 이 장치는 컴퓨터 제어 목욕 온도 및 가스 압력을 사용하여 최적의 에칭 성능을 제공합니다. 기계는 또한 공기 흐름 제어를 통합하여 정확성과 균일성을 향상시킵니다. 이러한 기능의 조합을 통해 TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide는 연속 배치 동안 및 다른 웨이퍼 크기에 걸쳐 일관된 산화물 증착을 유지할 수 있습니다. 이 장치는 에칭 프로세스 (etching process) 동안 일정한 온도를 유지하기 위해 자동 온도 조절 도구를 사용하여 설계되었습니다. 이렇게 하면 '온도 설정' 을 수동으로 조정하지 않고도 장치가 '온도' 범위에 도달하는 데 도움이 됩니다. 또한, 이 장치는 다양한 유형의 마스크 (mask) 와 웨이퍼 (wafer) 로 작동하여 생산 과정에서 새로운 마스크 및 웨이퍼가 필요하지 않습니다. 이 장치에는 에칭 (etching) 과정에서 물리적 손상 또는 화학적 오염으로부터 웨이퍼를 보호하는 자동 캡핑 (auto-capping) 기능도 있습니다. 자산에는 공정 혈관 바닥에서 진공 (vacuum) 을 사용하는 차동 펌핑도 포함됩니다. 이것은 선박 내부에 미립자의 축적을 방지하는 데 유용합니다. 마지막으로, 이 모델에는 진단 기능 (Diagnostic Feature) 이 장착되어 있어 장치로 인한 결함을 감지하고, 조작자에게 신속하게 경고 (Corrective Action) 할 수 있습니다. 요약하면, TELINDY Oxide는 반도체 웨이퍼의 고급 에처/애셔입니다. 그것 은 습식 화학적 "에칭 '을 사용 하여 산화물 층 을 정밀 하게 증착 시키며, 여러 가지" 웨이퍼' 크기 에 걸친 균일성 을 제공 한다. 이 장치는 자동 화학적 전달 및 온도 조절 시스템 (auto-capping, differential pumping) 과 같은 다른 기능으로 설계되었습니다. 진단 (Diagnostics) 기능을 사용하면 장치와 관련된 모든 결함 또는 불규칙성을 감지하여 원활한 작동과 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다.