판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide #9282573

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide는 고정밀 에칭 및 애싱 응용 프로그램을 위해 설계된 고급 에처/애셔 장비입니다. 반도체, 패널, 평면 패널 디스플레이 (FPD), 이산 반도체, 데이터 스토리지, MEMS, 박막 헤드 제조 등 다양한 업계에서 사용하기에 적합합니다. 텔 텔린 디 옥사이드 (TEL TELINDY Oxide) 는 다양한 재료와 복잡한 패턴을 처리하기 위해 향상된 에칭/애싱 정밀도 및 다재다능성을 갖춘 다기능 에처/애셔 시스템입니다. 그것 은 모든 형태 의 산화물, 질화물, "폴리이마이드 '및 박막 을 에칭 하여 고도 로 제조 할 수 있다. 이 장치에는 최신 기술 (예: 실시간 입자 분석기, 독점 흐름 제어 소프트웨어) 이 장착되어 있습니다. 이는 다양한 깊이가 필요한 레이어를 마스킹 할 때에도 전체 웨이퍼 (wafer) 또는 기판 (substrate) 표면의 균일 한 에칭/애싱을 보장합니다. 이 기계에는 "직선", "곡선" 및 "다중 스택" 에칭/애싱을 포함한 다양한 에칭 및 애싱 프로세스가 포함됩니다. 최대 900 ° C의 실온과 통합 된 초저압 화학 전달 기술의 조절 가능한 온도 범위를 특징으로합니다. 이를 통해 에칭 (etching )/어싱 (ashing) 프로세스를 효과적으로 제어할 수 있으며, 운영자가 다른 애플리케이션의 개별 프로세스 요구 사항에 맞게 에칭/어싱 프로세스를 정확하게 조정할 수 있습니다. 이 도구에는 자동 배기 조절 자산, 연동 안전 도어 (Interlocked Safety Door) 및 비상 정지 버튼 (Emergency Stop Button) 과 같은 여러 안전 기능도 포함되어 있습니다. 전자동 배기 (Fully Automated) 배기 모델 (Exhaust Model) 은 배기 유량을 적극적으로 조절하여 이상적인 운영 환경을 유지하는 반면, 통합 연동 안전 도어 (Safety Door) 는 기계에 무단 액세스하지 못하도록 도와줍니다. TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide는 직관적이고 사용자 친화적 인 그래픽 인터페이스 (GUI) 를 운영자에게 제공합니다. GUI 는 장비 운영에 필요한 모든 정보를 포함하며, 에칭 (etching )/어싱 (ashing) 프로세스의 모든 단계를 통해 운영자를 손쉽게 안내할 수 있도록 설계되었습니다. 이를 통해 운영자는 고객의 요구 사항과 애플리케이션에 맞게 빠르고 효율적으로 시스템을 구성할 수 있습니다. TELINDY Oxide는 전체적으로 다양한 산업을위한 고급 etcher/asher 장치를 제공합니다. 정밀도가 높고 다재다능하여 복잡한 패턴과 재료를 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 하는 데 이상적입니다. 직관적인 GUI, 자동 안전 기능, 조절 가능한 온도 조절 기능을 갖춘 TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide는 모든 에칭 및 애싱 어플리케이션에서 안정적이고 일관된 성능을 보장합니다.