판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Nitride #9219405

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Nitride (TELINDY) 는 산화물, 질화물 또는 금속 간 필름의 증착을 위해 설계된 에처/애셔입니다. 다용도 (versitile) 도구로서 고온의 집적회로 (integrated circuit) 부품을 다수 만드는 데 사용할 수 있습니다. TEL TELINDY Nitride 장비는 자동 처리 및 프로그래밍 가능한 레시피 컨트롤을 제공합니다. 독점 용광로, 고 진공 시스템, RF 또는 DC 구동 플라즈마 소스, 최대 2 개의 이중 가스 모드 소스를 포함하는 완전한 기능 및 액세서리 세트가 제공됩니다. 기능이 풍부한 장치는 매우 정확한 제어로 1/4에서 1/2 미크론 두께의 필름 레이어를 처리할 수 있으며, 고품질의 필름을 지속적으로 생산할 수 있습니다. TELINDY 기계 내의 용광로는 최대 3.2kW의 전력으로 최대 1200 ° C까지 가열 할 수 있습니다. 조절 가능한 감지기 (susceptor) 와 통합 기판 홀더로 난방 공간이 확대되어 증착 효율이 향상됩니다. 이 도구에는 3x10-7 Torr의 기본 압력을 달성 할 수있는 높은 진공 자산이 장착되어 있습니다. 플라즈마 소스는 필름 증착 전에 깨끗한베이스 에치를 제공하는 데 사용됩니다. 패러데이 케이지 (Faraday cage) 또는 정전기 척 (electrostatic chuck) 과 같은 장치는 플라즈마 활성을 제어하는 데 사용될 수 있습니다. 이 모델은 최대 500 와트의 RF 또는 최대 1200 와트의 DC에 의해 구동됩니다. 이중 가스 모드 소스는 게이트 산화물 에칭과 증착을 모두 수행하기 위해 Ar, H2O2, O2, SiH4 및 CH4를 포함한 다양한 가스 유형을 특징으로합니다. TELINDY 장비는 안정적이고 정확하며 효율적입니다. PVD (Advanced Physical Vapor Deposition) 기술은 최첨단 IC 부품을위한 고품질 질화물 필름을 보장하도록 최적화되었습니다. 이 시스템의 기능은 통합 회로 업계에서 가장 인기있는 etcher/asher 시스템 중 하나입니다.