판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY B #9314443
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TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY B는 웨이퍼 제조 응용 프로그램을 위해 설계된 에처 (asher라고도 함) 입니다. 이 통합 장비는 하나의 효율적인 프로세스에서 패턴화와 에칭을 결합합니다. 효율이 높고 확장성이 뛰어난 이 시스템을 사용하면 기능 크기 (1m ~ 몇 미크론) 를 달성할 수 있습니다. TEL TELINDY B의 주요 구성 요소에는 진공 챔버가있는 에처, 고주파 발전기, 회전하는 전자 빔, 전자 빔 증발기, 스캐닝 전자 현미경 (SEM), 패턴 및 프로파일 제어 장치, 로드 락 기계 및 반자동 웨이퍼 프로빙 도구. 에처 (etcher) 는 통제 된 환경 조건에서 웨이퍼가 처리되는 진공 챔버를 특징으로합니다. 고주파 생성기는 에칭 프로세스에 필수적인 RF 필드를 만듭니다. 회전하는 전자 빔 (electron beam) 은 챔버에 플라즈마를 생성하여 에칭 과정을 가속화하는 데 도움이됩니다. 전자 빔 증발기 (electron beam evaporator) 는 제어되고 균일 한 에칭 효과를 제공하기 위해 에친트를 증발시키는 데 사용된다. TOKYO ELECTRON TELINDY B에는 강력한 패턴 및 프로파일 제어 자산도 있습니다. 고급 알고리즘은 프로파일 제어 및 패턴화에 사용되며, 이는 에칭 효율을 크게 향상시킵니다. 이 모델에는 한 번에 최대 8 개의 웨이퍼를 분석 할 수있는 반자동 웨이퍼 프로브 장비도 포함되어 있습니다. 이 시스템은 웨이퍼 두께와 지형을 빠르고 정확하게 측정 할 수 있습니다. 이 장치는 반도체 생산에 사용되는 모든 주요 CAD 시스템과 완벽하게 호환됩니다. TELINDY B는 최신 IC 제조를 위한 안정적이고 효율적인 장비 솔루션으로, 웨이퍼 처리 시간을 대폭 단축합니다. 반도체 업체에 적합한 선택으로, 정확성과 반복성이 높은 복잡한 웨이퍼 (wafer) 모양과 구조물을 생산해야 한다. 정확한 제어 및 자동화를 통해 TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY B는 고품질 웨이퍼 제품의 생산을 보장합니다.
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