판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY B #293763014
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ID: 293763014
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2011
Vertical furnace, 12"
Process: HIK
Power supply: 120 V, Single phase / 480V, 3 Phase
2011 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY B는 다양한 목적으로 많은 제조 환경에서 사용되는 에처 (asher라고도 함) 입니다. 이 기계는 매우 높은 정밀도로 대용량 및 소용량 웨이퍼 (wafer) 를 모두 처리하도록 설계된 고급 배치 (batch) 처리 장비입니다. 이 시스템은 photolithography, thin film processing, dielectric 및 insulating layer를 포함하여 반도체 기술에 이상적입니다. TEL TELINDY B 장치는 플랫 또는 커브 서피스에서 여러 유형의 웨이퍼 재료를 처리 할 수 있습니다. 각각 독립적으로 제어 된 에칭 속도를 가진 2 개의 개별 정밀 에칭 탱크가 있습니다. 에치 탱크의 바닥에는 공정 전체에서 일정한 온도를 제공하는 대구경 침수 히터 (immersion heater) 요소가 포함되어 있습니다. "탱크 '는 화학 에 강하고 여러 개 의" 에찬트' 를 안전 하게 저장 하여 기계 를 효율적 이고 안전 하게 만든다. 정확한 온도 제어를 통해 좁은 선과 피쳐가 있는 더 작은 단면을 정확하게 절단할 수 있습니다. 이 도구는 에칭 (etched) 패턴의 정확성을 보장하기 위해 특수 소프트웨어 컨트롤러가 장착되어 있어 웨이퍼 매개변수를 모니터링, 분석, 조정할 수 있습니다. 이를 통해 에칭 프로세스를 세밀하게 튜닝하고 제어하여 최고 품질의 결과를 얻을 수 있습니다. 이 소프트웨어는 가스 밀도, 전원, 깊이 등의 매개변수 제어 외에도 에칭 (etched) 패턴의 품질에 대한 정보도 제공합니다. 이 자산은 고급 보호 기능으로 인해 강력하고 안정적입니다. 온도 모니터와 PH 미터 (PH Meter) 를 장착하여 화학적 조성 및 누출 검출기의 변화를 점검합니다. 이들 모두는 잠재적으로 위험한 상황을 예방하고, 모델의 수명을 연장하는 데 필수적입니다. TOKYO ELECTRON TELINDY B Etcher는 다양한 에칭 요구에 대한 비용 효율적이고, 안정적이며, 정확한 솔루션입니다. 고급 기능과 안전 장치 (Safety Mechanism) 는 소규모 및 대규모 생산 실행에 모두 적합한 선택입니다.
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