판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Anneal #293822430

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Anneal은 실리콘 웨이퍼, 쿼츠 및 유리 플레이트와 같은 기판의 화학 어닐링 치료에 특히 사용되는 etcher/asher의 한 유형입니다. 이 에처/애셔 (etcher/asher) 는이 치료를 위해 특별히 설계되었으며, 온도 조절이 정확한 저온 연간 과정을 생성합니다. TEL TELINDY Anneal은 etcher/asher와 통합 된 단일 플랫폼에서 습식 프로세스를 사용하여 단일 기판을 어닐링하도록 구성됩니다. TOKYO ELECTRON TELINDY Anneal은 630mm 너비, 549mm 깊이 및 794mm 높이의 탁상 스타일의 에처/애셔입니다. 외부 제어 온도 범위는 최대 350 ° C, 총 무게는 70kg입니다. 또한이 etcher/asher에는 자체 진단 및 처리 상태를위한 8 인치 LCD 및 막 스위치 패널이있는 컨트롤러도 있습니다. 이 에처/애셔는 화학 증기 증착, 물리적 증기 증착, 전기 도금, 에칭 등 다양한 습식 공정에 적합합니다. 실리콘, 석영, 유리, 세라믹, 실리콘 산화물, 알루미늄, 스테인리스 스틸 등과 같은 다양한 재료를 어닐링하는 데 사용할 수 있습니다. 또한 산화 제어 시스템 (Oxidation Control System) 이 내장되어 있어 이상적인 어닐링 환경을 유지하면서 여러 산화 과정을 동시에 실행할 수 있습니다. 또한 정밀도가 가장 높은 다양한 엠보싱, 수성 반도체 처리, 에칭 프로세스 (etching process) 를 포함하므로 에칭과 산화 과정이 겹칩니다. Wafer 당 전체 시간 (time) 을 줄여 더 빠른 Annealing 프로세스를 지원하기 때문에 사용자가 시간을 절약하고 비용을 절감할 수 있습니다. 또한 TELINDY Anneal은 통합에서 센서 기술을 사용하여 온도 변동을 감지하고, 정확한 실시간 피드백을 제공하고, 과열을 방지합니다. 이를 통해 최적의 작동 온도와 고품질 어닐링 결과가 유지됩니다. 또한 성능 인증서 (Certificate of Performance) 도 제공되며, 특정 필요에 따라 조정할 수 있는 맞춤형 설정을 사용합니다. 결론적으로, TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Anneal은 다양한 기질의 정확한 어닐링 처리를 위해 설계된 매우 효율적이고 다재다능한 etcher/asher입니다. 온도 및 습도 조절, 산화 조절, 엠보싱, 에칭, 수성 반도체 처리 등 다양한 기능이 있습니다. 또한 센서 기술과 실시간 피드백 (feedback) 은 최상의 결과를 위해 최적의 작동 온도를 유지하는 데 도움이됩니다.