판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Anneal #293638715

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Anneal은 반도체 웨이퍼에서 고정밀 패턴을 생산하도록 설계된 고급 에칭 및 애싱 장비입니다. 크기와 두께의 웨이퍼에 대한 에칭 (etching), 다이빙 (dicing), 패턴화 (patterning) 및 기타 처리 작업을 수행할 수 있습니다. 이 시스템은 유지 보수를 최소화하면서 안정적이고 반복 가능한 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 텔 텔린 디 안닐 (TEL TELINDY Anneal) 장치는 두 가지 주요 구성 요소로 구성되어 있습니다. 하단 판은 챔버를 가로 질러 고정되어 있으며 상판 (가동 팔) 입니다. 하단 판은 웨이퍼를 제자리에 고정시켜, 처리 중에 정확한 위치 지정 및 정렬을 허용합니다. 상판은 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 에 필요한 도구와 컴포넌트를 포함하는 로봇과 같은 팔입니다. 이 기계는 친숙한 터치 스크린 인터페이스 (touch screen interface) 와 직관적인 컨트롤로 사용자 친화적으로 제작되었습니다. 이 인터페이스를 통해 사용자는 패턴 (pattern) 을 에치 (etched) 및 애쉬 (ashed) 및 원하는 결과를 생성하는 데 필요한 속도 및 압력 설정 (speed and pressure settings) 을 프로그래밍할 수 있습니다. 또한 고급 안전 기능 (예: 압력 제한 및 제어 온도 설정) 이 포함되어 있습니다. 에칭 및 애싱 프로세스 자체는 간단하며 두 가지 주요 단계로 나눌 수 있습니다. 첫째, 일련의 화학 목욕탕을 사용하여 패턴을 웨이퍼에 넣습니다. 그런 다음, "웨이퍼 '의 표면 에서 잔류 물질 을 제거 하기 위하여" 웨이퍼' 를 갈아 놓는다. 자산은 온도 및 에칭 압력 (etching pressure) 을 정확하게 제어하여 여러 웨이퍼에 걸쳐 일관된 결과를 제공합니다. 일단 웨이퍼가 에칭 및 재시되면, TOKYO ELECTRON TELINDY Anneal 모델을 사용하여 결과 패턴의 품질을 검사 할 수 있습니다. 장비에는 고급 광학 현미경 (advanced optical microscope) 이 포함되어 있어 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 공정의 결과를 매우 높은 배율로 관찰 할 수 있습니다. 이를 통해 패턴의 품질을 정확하게 평가하여, 매번 완벽한 결과를 얻을 수 있습니다. 전반적으로 TELINDY Anneal 시스템은 유지 보수 및 사용자 친화적 인 최소한의 작업을 통해 정확한 결과를 창출하도록 설계된 고급 에칭 앤 애싱 (etching and ashing) 장치입니다. 고급 안전 기능, 직관적인 사용자 인터페이스 및 고정밀 optic을 갖춘 TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Anneal 머신은 모든 반도체 웨이퍼 처리 응용 프로그램에 완벽한 선택입니다.