판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TELFORMULA ALD High-K #9193848

TEL/TOKYO ELECTRON TELFORMULA ALD High-K는 까다로운 반도체 산업에 사용되도록 설계된 고급 에처/애셔입니다. 이 기계는 정밀도 및 반복성이 높은 표면에 매우 얇은 재료 레이어 (예: 산화물) 를 적용하여 데이터 저장 (data storage) 이나 DRAM 메모리 (DRAM memory) 와 같은 애플리케이션에 적합합니다. ALD High-K는 건식 화학 전구체가 기화되어 반응성 챔버에 주입 된 화학 공정을 사용한다. 그 다음 에 "챔버 '를 가열 시키고 진공 아래 전구체 와 기질 표면 사이 에 화학 반응 이 일어난다. 그 반응 으로 "가스 '흐름 을 사용 하여 물질 의 얇은" 필름' 을 기판 에 강착 시킨 다음 "가스 '흐름 을 사용 하여" 챔버' 에서 과도 한 물질 을 제거 한다. ALD High-K에는 10 비트 디지털-아날로그 변환기가 장착 된 16 비트 주 프로세서가 있으며, 이를 통해 증착 과정의 매개 변수 (예: 온도, 압력 및 유속) 를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 머신에는 특정 프로세스에 대한 최상의 설정 (setting) 을 감지할 수 있는 내장형 자동 조정 기능 (auto-tune feature) 도 함께 제공되며, 프로세스를 복잡하게 조정할 필요가 없어서 시간과 에너지를 절약할 수 있습니다. TEL TELFORMULA ALD High-K가 실제로 눈에 띄는 것은 놀라운 속도입니다. 최대 80nm/min의 증착률을 달성 할 수 있으며, 이는 가장 빠른 에처/애셔 중 하나입니다. 이 장치는 장기적인 신뢰성을 위해 설계되었습니다. 그것의 모든 금속 챔버 (all-metal chamber) 는 수명을 늘리도록 설계되었으며 부식에 강합니다. ALD High-K에는 직관적이고 사용자 친화적 인 제어 시스템도 있습니다. 기계는 온보드 소프트웨어를 사용하여 독립형 (Standalone) 모드로 작동하거나 통합 직렬/USB 포트를 사용하여 컴퓨터에 연결할 수 있습니다. 디지털 디스플레이는 필요한 모든 필수 정보 (예: 증착 시간, 전구체 농도) 를 보여줍니다. 요약하면, TOKYO ELECTRON TELFORMULA ALD High-K는 박막을 빠르고 정확하게 증착 할 수있는 고급 에처/애셔입니다. 이 기계에는 디지털 디스플레이, 16 비트 메인 프로세서, 10 비트 아날로그-디지털 컨버터, 직관적이고 사용자 친화적 인 제어 시스템이 있으며, 표면의 정밀 에칭이 필요한 다양한 산업에서 사용할 수 있습니다.