판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8501 #9396122

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8501은 단일 시스템에서 다양한 에치/증착 프로세스를 수행하도록 설계된 고급 에치/애셔 장비입니다. 이 장치는 효과 기반 도구 (effect-based tools) 를 사용하여 etch 또는 deposition 프로세스를 정확하게 제어하여 사용자가 비용 효율적인 방식으로 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 이 기계는 반도체 웨이퍼, 포토 마스크, MEMS 및 나노 스케일 구조와 같은 기판에서 에치 및 증착 결과에서 뛰어난 균일성을 제공하도록 설계되었습니다. 이 도구는 고급, 멀티 스테이지 에처/증착 챔버 (etcher/deposition chamber) 를 갖추고 있으며 광범위한 에치 및 증착 프로세스를 제공 할 수 있습니다. 이 자산에는 실시간 엔드 포인트 모니터링 도구, 다중 트랙 모드, 패턴화된 웨이퍼 (wafer) 생산 지원과 같은 여러 가지 고급 기능도 있습니다. 이 모델은 여러 가지 플라즈마 소스, 비활성 가스 및 RF 전력을 사용하여 다양한 에치 및 증착 프로세스를 수행합니다. 이 장비에는 고속 처리량 응용 프로그램을위한 고속 asher가 추가로 장착되어 있습니다. 즉, 처리량이 많은 에치/증착 (etch/deposition) 프로세스를 제공하여 애플리케이션을 빠르고 효율적으로 수행할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 자동화된 프로세스 제어 장치 (automated process control unit) 와 같은 고급 기능을 제공하여 프로세스 중 연산자 상호 작용을 최소화합니다. 이 기계는 다양한 에치 (etch) 및 증착 어플리케이션에서 고성능 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 또한 수많은 프로세스 가스 (process gase) 와 호환되도록 설계되었으며 다양한 웨이퍼 (wafer) 크기로 작업할 수 있습니다. 이 도구에는 컴퓨터 기반 터치 스크린 사용자 인터페이스와 원격 제어를 위한 LAN/WAN 인터페이스가 포함되어 있습니다. 마지막으로, 이 자산은 사용자의 생산성을 극대화하고 유지 관리를 최소화할 수 있도록 설계되었습니다.