판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8501 #293608640

TEL / TOKYO ELECTRON TE 8501
ID: 293608640
빈티지: 1996
Etcher 1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 8501은 고급 플라즈마 에칭 기술을 사용하는 에처/애셔 장비입니다. 이 시스템은 인상적인 플라즈마 에칭 정밀도를 제공하며, 이는 반도체 웨이퍼를 에칭 할 때 특히 중요합니다. 이 장치에는 통합 전자 사이클로트론 공명 (ECR) 소스가 있으며, 이는 무선 주파수 (RF) 파에 의한 플라즈마를 생성합니다. ECR 소스는 높은 정밀도가 필요한 반도체 에칭 (etching) 과 같은 응용 분야에 이상적인 고품질, 균일 한 플라스마를 만듭니다. 또한, TEL TE 8501에는 플라즈마 에칭 프로세스를 정확하게 제어하는 데 사용될 수있는 강력한 디지털 피드백 제어 머신이 있습니다. TOKYO ELECTRON TE 8501에는 에칭 매개변수를 쉽게 모니터링하고 조정할 수 있는 강력한 PMC-S (Process Monitoring and Control Tool) 가 장착되어 있습니다. 또한 Etching 성능을 극대화하여 원하는 Etching 결과를 얻을 수 있습니다. PMC-S 에셋에는 에칭 매개변수 및 성능을 추적 할 수있는 선택적 데이터 로깅 기능이 있습니다. 또한 사용자 정의 가능한 레시피를 제공하여 사용자가 프로세스 매개 변수를 자동화할 수 있습니다. 마지막으로 TE 8501은 신뢰성이 높은 에칭 툴입니다. 자동 유지 보수 (automated maintenance) 모델을 통해 성능을 향상시키고, 유지 관리를 줄이고, 장비의 수명을 늘릴 수 있습니다. 에칭 프로세스 (etching process) 와 관련된 물리적/화학적 위험 (physical hazard) 으로부터 사용자를 보호하는 고급 안전 기능이 장착되어 있습니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON TE 8501은 정확성과 신뢰성을 갖춘 에칭 시스템이 필요한 사용자에게 탁월한 에칭 옵션을 나타냅니다. 고급 플라즈마 에칭 기능과 사용자 정의 가능한 매개 변수 설정을 사용하면 우수한 에칭 결과를 얻을 수 있습니다. 게다가, 견고한 구성과 자동화된 유지보수 (maintenance) 기능을 통해 장시간 장치를 효율적으로 실행할 수 있습니다.
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